一种改性全氟醚橡胶及其制备方法和应用技术

本发明专利技术涉及全氟醚橡胶领域，提供了一种改性全氟醚橡胶及其制备方法和应用。改性全氟醚橡胶包括下列重量份数的组分：全氟醚橡胶生胶100份、改性填料20‑30份、交联剂1‑2份；改性填料为采用硅烷偶联剂改性的填料，硅烷偶联剂为包含全氟链段的硅烷偶联剂。本发明专利技术采用包含全氟链段的硅烷偶联剂改性填料，硅烷偶联剂的分子结构包含全氟链段，与全氟醚橡胶生胶的全氟主链结构相似，使得改性填料与橡胶基体具有良好的相容性，进而减少界面缺陷。采用包含全氟链段的硅烷偶联剂改性填料后，橡胶基体与填料之间的结合力显著提高，增强了密封件的机械性能和耐高温性能，使其特别适用于半导体生产过程中的密封件，提高了产品的可靠性和使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及全氟醚橡胶领域，具体涉及一种改性全氟醚橡胶及其制备方法和应用。

技术介绍

1、全氟醚橡胶(ffkm)因其优异的耐高温性、耐化学腐蚀性和低释气性，被广泛应用于半导体制造等高精尖领域。为优化其力学性能，普遍采用添加填料的改性手段，然而，填料与全氟醚橡胶基体的界面结合力不足，导致复合材料在使用时易出现机械性能下降、密封失效等问题。部分研究尝试通过机械共混法改善填料分散性，但物理改性仅能实现填料-基体的弱范德华力结合，效果有限，无法从根本上解决界面结合力不足的问题。

技术实现思路

1、因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中填料与全氟醚橡胶基体界面结合力不足的缺陷，从而提供一种改性全氟醚橡胶及其制备方法和应用。

2、为此，本专利技术提供了以下技术方案：

3、本专利技术提供了一种改性全氟醚橡胶，包括下列重量份数的组分：

4、全氟醚橡胶生胶100份、改性填料20-30份和交联剂1-2份；

5、所述改性填料为采用硅烷偶联剂改性的填料，所述硅烷偶联剂为包本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种改性全氟醚橡胶，其特征在于，包括下列重量份数的组分：

2.根据权利要求1所述的改性全氟醚橡胶，其特征在于，所述硅烷偶联剂包括全氟辛基三乙氧基硅烷。

3.根据权利要求1或2所述的改性全氟醚橡胶，其特征在于，所述填料包括二氧化硅、炭黑、石墨烯和碳纳米管中的一种或几种；

4.根据权利要求1或2所述的改性全氟醚橡胶，其特征在于，所述改性填料的制备方法包括下列步骤：

5.根据权利要求4所述的改性全氟醚橡胶，其特征在于，所述硅烷偶联剂和填料的质量比为(2-4)：100。

6.根据权利要求4所述的改性全氟醚橡胶，其特征在于，满足下列条...

【技术特征摘要】

1.一种改性全氟醚橡胶，其特征在于，包括下列重量份数的组分：

2.根据权利要求1所述的改性全氟醚橡胶，其特征在于，所述硅烷偶联剂包括全氟辛基三乙氧基硅烷。

3.根据权利要求1或2所述的改性全氟醚橡胶，其特征在于，所述填料包括二氧化硅、炭黑、石墨烯和碳纳米管中的一种或几种；

4.根据权利要求1或2所述的改性全氟醚橡胶，其特征在于，所述改性填料的制备方法包括下列步骤：

5.根据权利要求4所述的改性全氟醚橡胶，其特征在于，所述硅烷偶联剂和填料的质量比为(2-4)：...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱程，肖大双，叶纯，
申请(专利权)人：无锡金源半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：