下载加热盘升温检测装置及系统的技术资料

文档序号:42498444

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及加热盘检测技术领域,公开了加热盘升温检测装置及系统。其中,加热盘升温检测装置包括保护罩、红外玻璃、红外热像仪,保护罩适于密封罩设于安装有加热盘的腔体上,保护罩上开设有位于加热盘上方的开口,红外玻璃密封设于开口处,红外热像仪安装于红...
该专利属于无锡金源半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡金源半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。