【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及镀膜，具体为蒸发源和具备该蒸发源的蒸镀装置。
技术介绍
1、镀膜技术装备，在现代新材料、新能源、冶金化工及航空航天等领域占据越来越重要的位置。如航天太阳能帆板电池、航天器表面保护层、新材料表面处理、新能源锂电池阴极材料复合铜箔，新能源晶硅电池表面镀膜、碲化镉薄膜太阳能电池等领域，都需要镀膜技术装备。尤其是在新能源锂电池阴极材料复合铜箔双面镀膜及碲化镉薄膜太阳能电池镀膜技术装备方面，市场需求越来越大。
2、应用于大规模生产的镀膜技术装备，主要有以下几个技术方向：1、vtd（vaportransport deposition）技术：也称气相输运沉积该技术，特点是镀膜速度快，均匀性高，产量大，材料利用率高，无需更换原材料，技术独有性强，后续器件工艺与其他技术有很好的技术兼容性。2、溅射沉积（sputter deposition）技术：溅射沉积镀膜是指在真空腔体中，利用荷能粒子轰击靶材表面，通过粒子动量传递，打出靶材中的原子及其他粒子，并使其沉淀在基体上，形成薄膜的技术。3、近距离升华(css)技术：是指材料通过高能离...
【技术保护点】
1.蒸发源，包括分散桶（1），其特征在于：所述分散桶（1）的顶部通过两个管道分别连接有高压气体发生器和真空泵，两个管道上均连接有气体控制阀门，分散桶（1）底部固定连通有蒸发桶（2），分散桶（1）内壁固定有多个匀料孔板（103），竖直方向上相邻匀料孔板（103）的出料孔中轴线不重合；
2.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于：所述推料装置包括液压缸（10），液压缸（10）的伸缩端端部固定有圆台型推块（11），圆台型推块（11）侧面固定有封堵板（111）；
3.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于：所述蒸发桶（2）桶体上开设有第四真空腔（201...
【技术特征摘要】
1.蒸发源，包括分散桶（1），其特征在于：所述分散桶（1）的顶部通过两个管道分别连接有高压气体发生器和真空泵，两个管道上均连接有气体控制阀门，分散桶（1）底部固定连通有蒸发桶（2），分散桶（1）内壁固定有多个匀料孔板（103），竖直方向上相邻匀料孔板（103）的出料孔中轴线不重合；
2.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于：所述推料装置包括液压缸（10），液压缸（10）的伸缩端端部固定有圆台型推块（11），圆台型推块（11）侧面固定有封堵板（111）；
3.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于：所述蒸发桶（2）桶体上开设有第四真空腔（201），第四真空腔（201）内设置有第四涡流加热线圈（202），第四涡流加热线圈（202）产生的热量对进入蒸发桶（2）内的气态镀材进行保温，防止其冷却液化。
4.根据权利要求3所述的蒸发源，其特征在于：所述储存桶（4）桶体上开设...
【专利技术属性】
技术研发人员：李剑飞，刘华林，郝文涛，王超，黄小卫，
申请(专利权)人：蒙城繁枫真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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