下载蒸发源和具备该蒸发源的蒸镀装置的技术资料

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本发明公开了蒸发源和具备该蒸发源的蒸镀装置,涉及镀膜技术领域。包括分散桶,所述分散桶的顶部通过两个管道分别连接有高压气体发生器和真空泵,两个管道上均连接有气体控制阀门,分散桶底部固定连通有蒸发桶,分散桶内壁固定有多个匀料孔板,竖直方向上相邻...
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