晶圆级玻璃透镜的制备方法及晶圆级玻璃透镜技术

本发明专利技术公开了一种晶圆级玻璃透镜的制备方法及晶圆级玻璃透镜，制备方法包括：制作晶圆级模具，所述晶圆级模具的第一表面上形成有若干微透镜型面的凹槽，或所述晶圆级模具的第一表面上形成有若干微透镜型面的凸起；将晶圆级玻璃放置于所述晶圆级模具的第一表面上并升温回流，使晶圆级玻璃熔融后填充于所述凹槽内或完全包覆所述凸起；去除所述晶圆级模具。本发明专利技术的晶圆级玻璃透镜的制备方法及晶圆级玻璃透镜，采用回流工艺，将熔融状的玻璃填充到定制化的模具中，再去除模具完成玻璃透镜的批量化加工，实现晶圆级玻璃透镜的大批量制备。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微纳加工，具体涉及一种晶圆级玻璃透镜的制备方法及晶圆级玻璃透镜。

技术介绍

1、随着信息时代的快速发展，各类高精度光电子器件快速发展，玻璃透镜由于其优秀的光学特性和独特的材料性能，被广泛用于各个光器件领域。然而，玻璃材料本身散热性差、表面粗糙度低、材料硬度高等问题导致常见的半导体工艺路线都无法大规模量产。例如，常用的回流刻蚀工艺制备玻璃透镜常会出现刻蚀糊胶、等离子体损失玻璃表面、刻蚀爆胶等多项瓶颈问题，目前尚未有有效方案进行晶圆级玻璃透镜的制备。

2、公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在增加对本专利技术的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种晶圆级玻璃透镜的制备方法及晶圆级玻璃透镜，其能够实现晶圆级玻璃透镜的大批量制备。

2、为了实现上述目的，本专利技术一具体实施例提供了一种晶圆级玻璃透镜的制备方法，包括：

3、制作晶圆级模具，所述晶圆级模具的第一表面上本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆级玻璃透镜的制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆级玻璃透镜的制备方法，其特征在于，将晶圆级玻璃放置于所述晶圆级模具的第一表面上并升温回流的步骤之后，还包括：

3.根据权利要求1所述的晶圆级玻璃透镜的制备方法，其特征在于，将晶圆级玻璃放置于所述晶圆级模具的第一表面上并升温回流的步骤之前，还包括：在所述晶圆级模具的第一表面以及所述微透镜型面的凹槽内或在所述晶圆级模具的第一表面以及所述微透镜型面的凸起表面形成分离层的步骤；

4.根据权利要求3所述的晶圆级玻璃透镜的制备方法，其特征在于，所述分离层为金属分离层，采用电子束或磁控...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆级玻璃透镜的制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆级玻璃透镜的制备方法，其特征在于，将晶圆级玻璃放置于所述晶圆级模具的第一表面上并升温回流的步骤之后，还包括：

3.根据权利要求1所述的晶圆级玻璃透镜的制备方法，其特征在于，将晶圆级玻璃放置于所述晶圆级模具的第一表面上并升温回流的步骤之前，还包括：在所述晶圆级模具的第一表面以及所述微透镜型面的凹槽内或在所述晶圆级模具的第一表面以及所述微透镜型面的凸起表面形成分离层的步骤；

4.根据权利要求3所述的晶圆级玻璃透镜的制备方法，其特征在于，所述分离层为金属分离层，采用电子束或磁控溅射方式生长所述金属分离层。

5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘林韬，卢建娅，
申请(专利权)人：苏州苏纳光电有限公司，
类型：发明
国别省市：