【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及传感器，尤其涉及一种加速度计用全石英敏感部件。
技术介绍
1、石英挠性加速度计是一种测量加速度的高精度传感器，是惯性系统的重要部件，专利us4250757a，包括一个敏感部件、一个上导磁环部件、一个下导磁环部件、一个连接环、一个隔离环和一个外壳体，其结构形式为：上、下导磁环部件通过预紧力把敏感部件夹在中间，然后用连接环以胶接或激光焊接的方式进行固定，形成稳固的三明治结构，这个稳固的三明治结构一般称作表芯；最后，把表芯装入外壳体，并以隔离环做绝缘，通过胶接方式加以固定，形成石英挠性加速度计。
2、在惯性导航领域，对石英挠性加速度计偏值输出的长期和全温稳定性提出了越来越高的要求，而影响加速度计偏值稳定性的主要因素为敏感部件的稳定性。
3、敏感部件一般包括一个石英摆片、两个力矩线圈。石英摆片是熔融石英材料制成的挠性支撑结构件，挠性支撑结构件为一对中心对称的梁结构；力矩线圈是用漆包线在一个骨架上绕制而成，然后通过胶接的方式粘接到摆片上；骨架一般选用铝合金材质并做绝缘处理。高精度的加速度计都是在摆片上采用正反...
【技术保护点】
1.一种加速度计用全石英敏感部件，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种加速度计用全石英敏感部件，其特征在于，所述摆片和所述骨架的材质均为熔融石英玻璃。
3.如权利要求1所述的一种加速度计用全石英敏感部件，其特征在于，所述力矩线圈由金属膜层导线构成，所述金属膜层导线通过镀膜后激光切割成型于所述骨架的外侧壁上。
4.如权利要求3所述的一种加速度计用全石英敏感部件，其特征在于，所述骨架包括依次相连的上骨架和下骨架，所述上骨架和所述下骨架一体成型，所述上骨架和所述下骨架对称地设置于所述圆柱形通孔的上、下部；所述力矩线圈分为上力矩线...
【技术特征摘要】
1.一种加速度计用全石英敏感部件，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种加速度计用全石英敏感部件，其特征在于，所述摆片和所述骨架的材质均为熔融石英玻璃。
3.如权利要求1所述的一种加速度计用全石英敏感部件，其特征在于，所述力矩线圈由金属膜层导线构成，所述金属膜层导线通过镀膜后激光切割成型于所述骨架的外侧壁上。
4.如权利要求3所述的一种加速度计用全石英敏感部件，其特征在于，所述骨架包括依次相连的上骨架和下骨架，所述上骨架和所述下骨架一体成型，所述上骨架和所述下骨架对称地设置于所述圆柱形通孔的上、下部；所述力矩线圈分为上力矩线圈和下力矩线圈，所述上力矩线圈包覆于所述上骨架的外侧壁上，所述下力矩线圈包覆于所述下骨架的外侧壁上，所述上力矩线圈和所述下力矩线圈通过金属膜层连接，所述金属膜层设置于所述摆片本体的侧壁上。
5.如...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔粲，王宪东，杨稳，聂鲁燕，吴萌萌，王猛猛，张志涛，赵丙权，姜澜，
申请(专利权)人：中国船舶集团有限公司第七〇七研究所，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。