【技术实现步骤摘要】
本专利技术的，属于光学测 量
技术介绍
当前光学球面面形测量的主要技术手段是激光数字波面移相干涉仪，代表性的如美国ZYGO和WYKO公司的相关产品。这类仪器都使用标准球面镜头来产 生参考球面波，但由于光学加工和装配的影响，其参考球面的像差一般都大于 A/50，无法进一步减小，这直接导致其球面面形的测量准确度只能达到Ay20 V50 (波长为632.8nm)。远不能满足超精密加工及紫外光刻等前沿技术研究的需求。提高干涉法球面面形测量精度的关键在于寻找高精度的参考球面波，借助 于小孔点衍射产生近似理想的球面波前是一个可行的方法。而用柔性光纤纤芯 的端面代替小孔就构成了光纤点衍射干涉仪。光纤芯径的大小决定了衍射光的 数值孔径和偏离球面波的误差。理论计算表明，若采用He-Ne激光器(A =0.6328 um)，光纤的纤芯直径为2.4um(4A)，数值孔径(NA)为0.3时的衍射球面偏 差小于入/104。可见点衍射参考球面波的精度比实物镜头产生的参考球面精度高 200倍以上。对实际测量而言，其参考球面可视为理想波面，采用光纤点衍射干 涉法将提高球面面形的测量准确...
【技术保护点】
一种光学球面面形的光纤点衍射移相干涉测量方法，实现该方法的测量装置包括分光系统、测量光纤（１４）、参考光纤（１５）、分光棱镜（１６）、辅助正透镜（１７）、凸面镜（１８）、端面（１９）、成像镜头（２０）、ＣＣＤ摄像机（２１）、计算机（２２）、平面反射镜（２３）和凹面镜（２４），被测球面镜为凸面镜（１８）或凹面镜（２４），其特征在于：被测球面镜球心置于辅助正透镜（１７）的焦点处；第一步：从分光系统进入测量光纤（１４）并发生衍射的球面波通过分光棱镜（１６）反射到辅助正透镜（１７），被变换为汇聚的球面波前；上述汇聚球面波前在被测球面镜的表面反射，反射波前携带了被测球面镜的面形信息；...
【技术特征摘要】
1、一种光学球面面形的光纤点衍射移相干涉测量方法，实现该方法的测量装置包括分光系统、测量光纤(14)、参考光纤(15)、分光棱镜(16)、辅助正透镜(17)、凸面镜(18)、端面(19)、成像镜头(20)、CCD摄像机(21)、计算机(22)、平面反射镜(23)和凹面镜(24)，被测球面镜为凸面镜(18)或凹面镜(24)，其特征在于被测球面镜球心置于辅助正透镜(17)的焦点处；第一步从分光系统进入测量光纤(14)并发生衍射的球面波通过分光棱镜(16)反射到辅助正透镜(17)，被变换为汇聚的球面波前；上述汇聚球面波前在被测球面镜的表面反射，反射波前携带了被测球面镜的面形信息；上述反射波前通过辅助正透镜(17)，透过分光棱镜(16)汇聚到参考光纤(15)端面(19)，形成测量波前；参考光纤(15)端面(19)被抛光成28°斜面并镀半透半反膜，上述测...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈凌峰，任雅青，吴朔，沙定国，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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