一种PDDA-PANI/MEMS复合湿度传感器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种PDDA‑PANI/MEMS复合湿度传感器，包括MEMS基片、PANI层和PDDA层，MEMS基片是由硅基晶圆制备的硅基微热板芯片，硅基微热板芯片的结构包括自下而上依次设置的硅基板、SiO<subgt;2</subgt;/SiN<subgt;x</subgt;支撑层、微加热器、隔离层和叉指电极层，PANI层为原位聚合在MEMS基片表面的聚苯胺层，PDDA层为通过点胶结合在PANI层表面的聚二烯丙基二甲基氯化铵层。该复合湿度传感器制备方法简单，通过在不同湿度下的PDDA与PANI的协同作用，极大提高其对水分子的吸附能力，增强其湿度敏感性能，实现了本发明专利技术复合湿度传感器在较大的相对湿度范围（14%RH～94%RH）内出色的性能表现。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于湿度传感，具体涉及一种pdda-pani/mems复合湿度传感器及其制备方法。

技术介绍

1、近年来，随着可穿戴电子技术的快速发展，许多柔性传感器被制备并集成到智能医疗监测终端等领域。其中在重要的非接触式人体呼吸监测应用方面，湿度传感器因其高精度、方便性和强可靠性成为突出的解决方案。但是传统的商用传感器通常受到低灵敏度和慢响应时间的限制，这使得其难以实现对呼吸过程中快速变化的湿度环境的实时监测。

2、有机聚合物因其良好的加工性、优异的稳定性以及低成本和可大规模生产的优势，成为湿度敏感材料中关注的重点。传统的有机聚合物湿度传感器是以陶瓷、石英等作为刚性基底，在刚性基底上通过溅射、光刻等方法沉积金、铂等贵金属构成叉指电极的图案结构，然后再用旋涂、滴涂等成膜方式将有机聚合物涂覆在电极上，完成湿敏器件的构造。

3、浙江大学李杨等人在专利cn102507664a中报道了一种导电高分子复合纳米纤维电阻型湿度传感器及其制备方法，该传感器是以传统的陶瓷基板作为传感器基底，通过光刻和蒸发的方式在基底上沉积叉指电极，最后利用静电纺丝法在电本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种PDDA-PANI/MEMS复合湿度传感器，其特征在于，包括MEMS基片、PANI层和PDDA层，所述的MEMS基片是由硅基晶圆制备的硅基微热板芯片，所述的硅基微热板芯片的结构包括自下而上依次设置的硅基板、SiO2/SiNx支撑层、微加热器、隔离层和叉指电极层，所述的PANI层为原位聚合在所述的MEMS基片表面的聚苯胺层，所述的PDDA层为通过点胶结合在所述的PANI层表面的聚二烯丙基二甲基氯化铵层。

2. 根据权利要求1所述的一种PDDA-PANI/MEMS复合湿度传感器，其特征在于，所述的硅基微热板芯片的长度、宽度和厚度分别为0.5～5 mm、0.5～5 mm和0...

【技术特征摘要】

1.一种pdda-pani/mems复合湿度传感器，其特征在于，包括mems基片、pani层和pdda层，所述的mems基片是由硅基晶圆制备的硅基微热板芯片，所述的硅基微热板芯片的结构包括自下而上依次设置的硅基板、sio2/sinx支撑层、微加热器、隔离层和叉指电极层，所述的pani层为原位聚合在所述的mems基片表面的聚苯胺层，所述的pdda层为通过点胶结合在所述的pani层表面的聚二烯丙基二甲基氯化铵层。...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱锦天，谭瑞琴，冯明霞，
申请(专利权)人：宁波大学，
类型：发明
国别省市：