温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种PDDA‑PANI/MEMS复合湿度传感器，包括MEMS基片、PANI层和PDDA层，MEMS基片是由硅基晶圆制备的硅基微热板芯片，硅基微热板芯片的结构包括自下而上依次设置的硅基板、SiO<subgt;2</su...
该专利属于宁波大学所有，仅供学习研究参考，未经过宁波大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。