本技术涉及窄带滤光片溅射镀膜夹具技术领域，具体的说是一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具，包括：底座，所述底座的一侧设置有两个对称设置的夹具，夹持散热机构，用于对窄带滤光片溅射镀膜夹持时进行散热的所述夹持散热机构设置于夹具的一侧，其中，所述夹持散热机构包括设置于夹具一侧的夹持板，所述夹持板的底部设置有散热组件；在使用时可以通过两个对称分布的夹具对窄带滤光片进行夹持固定，在对滤光片进行镀膜时，可以通过散热组件快速对滤光片进行散热，从而避免滤光片受热过高而造成热损失，可以通过快取组件对后续镀膜滤光片进行快装快取，可以通过驱动组件驱动两个夹具进行夹持。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及窄带滤光片溅射镀膜夹具，特别的涉及一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具。
技术介绍
1、窄带滤光片，是从带通滤光片中细分出来的，其定义与带通滤光片相同，也就是这种滤光片在特定的波段允许光信号通过，而偏离这个波段以外的两侧光信号被阻止，窄带滤光片的通带相对来说比较窄，一般为中心波长值的5％以下，溅射镀膜技术是用离子轰击靶材表面，把靶材的原子被击出的现象称为溅射。溅射产生的原子沉积在基体表面成膜称为溅射镀膜，通常在进行溅射镀膜时需要使用夹具对滤光片进行固定；
2、如参考案例“一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具”公布号“cn209778981u”所示当第一面镀膜完成后无需拆卸即可直接进行超声波清洗，之后镀制第二面镀膜，可以有效的提高3d窄带滤光片的镀膜效率，有利于提高企业生产效益；
3、在进行溅射镀膜时会产生一定热量，若是热量过高则会损坏窄带滤光片，但传统的夹具仅能对窄带滤光片进行夹持固定，无法将热量快速散发出去。
4、因此，提出一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具以解决上述问题。
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【技术保护点】
1.一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具，其特征在于：所述散热组件(22)包括固定安装在夹具(101)内部的导热板(221)，所述夹持板(21)位于导热板(221)的上方，所述导热板(221)的底部固定安装有多个散热板(222)。
3.根据权利要求2所述的一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具，其特征在于：所述散热组件(22)还包括贯穿安装在多个所述散热板(222)一侧的冷却管(223)，多个所述冷却管(223)的外侧均固定安装有多个翅片(224)，多个所述翅片(224)位于夹具...
【技术特征摘要】
1.一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具，其特征在于：所述散热组件(22)包括固定安装在夹具(101)内部的导热板(221)，所述夹持板(21)位于导热板(221)的上方，所述导热板(221)的底部固定安装有多个散热板(222)。
3.根据权利要求2所述的一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具，其特征在于：所述散热组件(22)还包括贯穿安装在多个所述散热板(222)一侧的冷却管(223)，多个所述冷却管(223)的外侧均固定安装有多个翅片(224)，多个所述翅片(224)位于夹具(101)的一侧，所述夹具(101)的一侧固定安装有两个散热风扇(225)，两个所述散热风扇(225)位于多个所述翅片(224)之间。
4.根据权利要求1所述的一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具，其特征在于：所述快取组件(23)包括固定安装在夹持板(21)一侧的移动板(231)，所述移动板(231)的一侧设置有驱动板(232)，所述移动板(231)的一侧固定安装有两个支杆(234)，两个所述支杆(234)一端均贯穿驱动板(232)，所述支杆(234)的...
【专利技术属性】
技术研发人员：增田清志，增田博志，
申请(专利权)人：浙江京浜光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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