【技术实现步骤摘要】
本技术涉及窄带滤光片溅射镀膜夹具,特别的涉及一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具。
技术介绍
1、窄带滤光片,是从带通滤光片中细分出来的,其定义与带通滤光片相同,也就是这种滤光片在特定的波段允许光信号通过,而偏离这个波段以外的两侧光信号被阻止,窄带滤光片的通带相对来说比较窄,一般为中心波长值的5%以下,溅射镀膜技术是用离子轰击靶材表面,把靶材的原子被击出的现象称为溅射。溅射产生的原子沉积在基体表面成膜称为溅射镀膜,通常在进行溅射镀膜时需要使用夹具对滤光片进行固定;
2、如参考案例“一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具”公布号“cn209778981u”所示当第一面镀膜完成后无需拆卸即可直接进行超声波清洗,之后镀制第二面镀膜,可以有效的提高3d窄带滤光片的镀膜效率,有利于提高企业生产效益;
3、在进行溅射镀膜时会产生一定热量,若是热量过高则会损坏窄带滤光片,但传统的夹具仅能对窄带滤光片进行夹持固定,无法将热量快速散发出去。
4、因此,提出一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具以解决上述问题。
技术实现思路
1、本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具,改善了在进行溅射镀膜时会产生一定热量,若是热量过高则会损坏窄带滤光片,但传统的夹具仅能对窄带滤光片进行夹持固定,无法将热量快速散发出去的问题。
2、本技术通过以下技术方案来实现上述目的,一种d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具,包括:底座,所述底座的一
3、优选的,所述散热组件包括固定安装在夹具内部的导热板,所述夹持板位于导热板的上方,所述导热板的底部固定安装有多个散热板,夹具位于导热板底部设置有一定空间,可以方便散热板与空气相接触进行散热,在对滤光片镀膜时,可以通过底部导热板将滤光片热量快速导向多个散热板,再通过多个散热板对热量进行快速散发。
4、优选的,所述散热组件还包括贯穿安装在多个所述散热板一侧的冷却管,多个所述冷却管的外侧均固定安装有多个翅片,多个所述翅片位于夹具的一侧,所述夹具的一侧固定安装有两个散热风扇,两个所述散热风扇位于多个所述翅片之间,多个散热板的热量可以通过贯穿安装的多个冷却管进行快速降温,而冷却管在使用时可以通过表面安装的多个翅片增加与空气接触面积,进行快速散热,进一步提升散热效果,在多个翅片进行散热时,还可以通过位于多个翅片之间的散热风扇加快空气流动,使得多个散热翅片对冷却管的散热效果更好。
5、优选的,所述快取组件包括固定安装在夹持板一侧的移动板,所述移动板的一侧设置有驱动板,所述移动板的一侧固定安装有两个支杆,两个所述支杆一端均贯穿驱动板,所述支杆的外侧套设有弹簧,所述弹簧的两端分别与驱动板和移动板固定连接,在夹具对滤光片夹持后,可以通过驱动板抵紧两个弹簧,让两个弹簧推动对应移动板和夹持板对滤光片进行夹持,在镀膜完成后,可以通过推动移动板挤压弹簧快速将滤光片取出或放入,从而方便对后续滤光片的加工。
6、优选的,所述快取组件还包括转动安装在驱动板一侧的驱动螺杆,所述驱动螺杆一端贯穿夹具并与夹具螺纹连接,可以通过驱动螺杆与夹具螺纹运动,从而对驱动板的位置进行调节,可以通过调节驱动板的位置,来调节弹簧的抵紧力度,从而可以使得夹持板适用夹持于不同的滤光片。
7、优选的,所述夹持板设置为圆弧形状,所述夹持板与导热板滑动连接,夹持板可以将接触滤光片一侧的热量导入导热板内,从而提升对滤光片的散热面积。
8、优选的,所述驱动组件包括固定安装在夹具底部的移动块,两个所述移动块与底座滑动连接,所述底座的内部转动安装有双向螺杆,所述双向螺杆贯穿两个移动块并与两个移动块螺纹连接,在驱动夹具夹持时,可以通过转动双向螺杆,让双向螺杆驱动两个移动块同步带动对应夹具进行夹持十分便捷。
9、优选的,所述底座的一侧固定安装有电机,所述电机的输出端贯穿至底座内部并与双向螺杆一端固定连接,在需要驱动双向螺杆进行转动时,可以通过启动电机,使得驱动两移动块移动更加便捷。
10、本技术的有益效果是:
11、1、在使用时可以通过两个对称分布的夹具对窄带滤光片进行夹持固定,在对滤光片进行镀膜时,可以通过散热组件快速对滤光片进行散热,从而避免滤光片受热过高而造成热损失,可以通过快取组件对后续镀膜滤光片进行快装快取,可以通过驱动组件驱动两个夹具进行夹持;
12、2、在夹具对滤光片夹持后,可以通过驱动板抵紧两个弹簧,让两个弹簧推动对应移动板和夹持板对滤光片进行夹持,在镀膜完成后,可以通过推动移动板挤压弹簧快速将滤光片取出或放入,从而方便对后续滤光片的加工。
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1.一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具,其特征在于:所述散热组件(22)包括固定安装在夹具(101)内部的导热板(221),所述夹持板(21)位于导热板(221)的上方,所述导热板(221)的底部固定安装有多个散热板(222)。
3.根据权利要求2所述的一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具,其特征在于:所述散热组件(22)还包括贯穿安装在多个所述散热板(222)一侧的冷却管(223),多个所述冷却管(223)的外侧均固定安装有多个翅片(224),多个所述翅片(224)位于夹具(101)的一侧,所述夹具(101)的一侧固定安装有两个散热风扇(225),两个所述散热风扇(225)位于多个所述翅片(224)之间。
4.根据权利要求1所述的一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具,其特征在于:所述快取组件(23)包括固定安装在夹持板(21)一侧的移动板(231),所述移动板(231)的一侧设置有驱动板(232),所述移动板(231)的一侧固定安装有两个支杆(234)
5.根据权利要求1所述的一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具,其特征在于:所述快取组件(23)还包括转动安装在驱动板(232)一侧的驱动螺杆(233),所述驱动螺杆(233)一端贯穿夹具(101)并与夹具(101)螺纹连接。
6.根据权利要求1所述的一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具,其特征在于:所述夹持板(21)设置为圆弧形状,所述夹持板(21)与导热板(221)滑动连接。
7.根据权利要求1所述的一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具,其特征在于:所述驱动组件(24)包括固定安装在夹具(101)底部的移动块(242),两个所述移动块(242)与底座(1)滑动连接,所述底座(1)的内部转动安装有双向螺杆(243),所述双向螺杆(243)贯穿两个移动块(242)并与两个移动块(242)螺纹连接。
8.根据权利要求1所述的一种3D窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具,其特征在于:所述底座(1)的一侧固定安装有电机(241),所述电机(241)的输出端贯穿至底座(1)内部并与双向螺杆(243)一端固定连接。
...【技术特征摘要】
1.一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具,其特征在于:所述散热组件(22)包括固定安装在夹具(101)内部的导热板(221),所述夹持板(21)位于导热板(221)的上方,所述导热板(221)的底部固定安装有多个散热板(222)。
3.根据权利要求2所述的一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具,其特征在于:所述散热组件(22)还包括贯穿安装在多个所述散热板(222)一侧的冷却管(223),多个所述冷却管(223)的外侧均固定安装有多个翅片(224),多个所述翅片(224)位于夹具(101)的一侧,所述夹具(101)的一侧固定安装有两个散热风扇(225),两个所述散热风扇(225)位于多个所述翅片(224)之间。
4.根据权利要求1所述的一种3d窄带滤光片溅射镀膜用对夹式夹具,其特征在于:所述快取组件(23)包括固定安装在夹持板(21)一侧的移动板(231),所述移动板(231)的一侧设置有驱动板(232),所述移动板(231)的一侧固定安装有两个支杆(234),两个所述支杆(234)一端均贯穿驱动板(232),所述支杆(234)的...
【专利技术属性】
技术研发人员:增田清志,增田博志,
申请(专利权)人:浙江京浜光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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