一种晶圆磨边倒角设备制造技术

本发明专利技术公开了一种晶圆磨边倒角设备，本发明专利技术涉及晶圆加工技术领域，包括底座，所述底座的顶部固定安装有机架，所述底座的顶部中部安装有承载锁定台，所述承载锁定台与机架的表面相连接，所述机架的外缘表面上安装有排屑磨边器。该晶圆磨边倒角设备，通过承载锁定台对待磨边倒角的晶圆片进行承载锁定，并带动晶圆旋转，利用排屑磨边器对晶圆片的边缘进行磨边及倒角的操作，同时，向晶圆片边缘喷洒磨削液，并在旋转力作用下导引磨削液在晶圆边缘流动，有效带走磨削过程中产生的微粒，并通过流体动力学效应减轻刀具与晶圆片接触时的摩擦，减少热量产生，从而提升磨削平整度和晶圆的磨边倒角质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶圆加工，具体为一种晶圆磨边倒角设备。

技术介绍

1、晶圆是指制作硅半导体集成电路所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，晶圆是半导体产业的重要基础材料，在半导体制造过程中，各种集成电路的复杂电路和器件会在晶圆上通过一系列工艺步骤逐步形成，随着技术的发展，更大尺寸的晶圆逐渐成为主流，因为它可以在单位面积上制造更多的芯片，从而降低成本，在晶圆加工的过程中，需要使用晶圆磨边倒角设备来对半导体晶圆的边缘进行磨边倒角，以提高晶圆边缘的物理强度并防止在后续的芯片制造过程中边缘产生裂纹或破碎。

2、晶圆片在进行磨边倒角时，由于磨削过程中的微粒残留及飞溅，易在晶圆上沉积，进而造成污染，影响晶圆质量，甚至会造成晶圆边缘外观不平整的情况。

技术实现思路

1、为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种晶圆磨边倒角设备，包括底座，所述底座的顶部固定安装有机架，底座和机架提供整个设备的稳固支撑基础，所述底座的顶部中部安装有承载锁定台，承载锁定台用于承载和固定晶圆，所述承载锁定台与机架的表面本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆磨边倒角设备，其特征在于，包括底座（1），所述底座（1）的顶部固定安装有机架（2），所述底座（1）的顶部中部安装有承载锁定台（3），所述承载锁定台（3）与机架（2）的表面相连接，所述机架（2）的外缘表面上安装有排屑磨边器（4），且所述排屑磨边器（4）对称设置在承载锁定台（3）的外侧，所述机架（2）的内侧表面上固定安装有废屑收集箱（6），且所述废屑收集箱（6）位于排屑磨边器（4）的下方，所述排屑磨边器（4）的边缘位置上安装有刮杂板（5）；

2.根据权利要求1所述的一种晶圆磨边倒角设备，其特征在于：所述连接驱动件（41）包括有第二固定板（411），所述第二固定板（41...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆磨边倒角设备，其特征在于，包括底座（1），所述底座（1）的顶部固定安装有机架（2），所述底座（1）的顶部中部安装有承载锁定台（3），所述承载锁定台（3）与机架（2）的表面相连接，所述机架（2）的外缘表面上安装有排屑磨边器（4），且所述排屑磨边器（4）对称设置在承载锁定台（3）的外侧，所述机架（2）的内侧表面上固定安装有废屑收集箱（6），且所述废屑收集箱（6）位于排屑磨边器（4）的下方，所述排屑磨边器（4）的边缘位置上安装有刮杂板（5）；

2.根据权利要求1所述的一种晶圆磨边倒角设备，其特征在于：所述连接驱动件（41）包括有第二固定板（411），所述第二固定板（411）的一侧表面与机架（2）的外缘表面相固定，所述第二固定板（411）的外侧表面上固定安装有横板（412），所述横板（412）远离第二固定板（411）的内壁上固定安装有气缸（413），所述气缸（413）的输出端端部固定安装有推板（414），所述推板（414）的外缘表面与横板（412）的内壁相滑动，所述推板（414）远离气缸（413）的一端底面固定连接有固定座（415），所述固定座（415）的底面与弧板（421）的顶部相固定。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆磨边倒角设备，其特征在于：所述磨削液注入件（43）包括有磨削液储箱（431），所述磨削液储箱（431）固定安装在横板（412）靠近第二固定板（411）的一端内壁上，所述磨削液储箱（431）的顶部固定安装有注入管（434），所述磨削液储箱（431）的外缘表面上固定安装有连接管（432），所述连接管（432）靠近磨削液储箱（431）的一端延伸至磨削液储箱（431）内部且与磨削液储箱（431）的内壁相固定，所述连接管（432）远离磨削液储箱（431）的一端固定连接有抽吸泵（433），所述抽吸泵（433）的底面与弧板（421）的顶部相固定，所述抽吸泵（433）的输出端延伸至弧板（421）内部且与平面槽（423）相连通，所述抽吸泵（433）用于输送磨削液。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆磨边倒角设备，其特征在于：所述承载锁定台（3）包括有晶圆锁定件（31），所述晶圆锁定件（31）的一侧与机架（2）的外缘表面相连接，所述晶圆锁定件（31）的输出端下方设置有承载台（32），所述承载台（32）的底面与底座（1）的顶部相连接，所述承载台（32）的外侧设置有对中件（33），且所述对中件（33）安装在废屑收集箱（6）的内侧表面上。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆磨边倒角设备，其特征在于：所述晶圆锁定件（31）包括有第一固定板（311），所述第一固定板（311）的侧面与机架（2）的外缘表面相固定，所述第一固定板（311）远离机架（2）的一侧表面上固定安装有升降气缸（312），所述升降气缸（312）的输出轴端部固定连接有滑移板（313），所述滑移板（313）的一侧表面与第一固定板（311）的外缘表面相滑动，所述滑移板（313）的外侧表面上固定安装有下压件（31...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈真，谢继飞，佘洁柯，林峰，胡运俊，张双锋，
申请(专利权)人：东莞市鼎力自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：