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本发明公开了一种晶圆磨边倒角设备，本发明涉及晶圆加工技术领域，包括底座，所述底座的顶部固定安装有机架，所述底座的顶部中部安装有承载锁定台，所述承载锁定台与机架的表面相连接，所述机架的外缘表面上安装有排屑磨边器。该晶圆磨边倒角设备，通过承载锁...
该专利属于东莞市鼎力自动化科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市鼎力自动化科技有限公司授权不得商用。

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