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一种基于图像锐度评价的编码掩膜测距及成像方法和装置制造方法及图纸

技术编号:42377125 阅读:14 留言:0更新日期:2024-08-16 15:02
本公开涉及一种基于图像锐度评价的编码掩膜测距及成像方法和装置,包括:基于目标编码掩膜成像系统,确定目标对象对应的编码图案;对编码图案进行数字聚焦,确定多个初始重建图像;针对任意一个初始重建图像,根据图像锐度信息评价函数,确定该初始重建图像对应的锐度评价结果;根据每个初始重建图像对应的锐度评价结果,确定目标对象对应的测距结果;根据目标对象对应的测距结果和编码图案,确定目标对象对应的目标重建图像。通过本公开实施例,可以在无需标定和多次测量的情况下,仅根据单张编码图案,灵活地确定目标对象对应的测距结果,并根据测距结果实现自动聚焦,进行高分辨率图像重建,提高了目标编码掩膜成像系统的实用性和实时性。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及编码掩膜成像,尤其涉及一种基于图像锐度评价的编码掩膜测距及成像方法和装置


技术介绍

1、编码掩膜成像技术,可以利用特殊设计的编码掩膜板替代传统的透镜组进行成像,能够减小成像系统的体积和结构复杂度,降低了成像系统的制造成本和装配难度。现有技术中,常用的编码掩膜成像系统重建图像的质量较差、分辨率较低,成像系统的实用性较差。


技术实现思路

1、有鉴于此,本公开提出了一种基于图像锐度评价的编码掩膜测距及成像方法和装置的技术方案。

2、根据本公开的一方面,提供了一种基于图像锐度评价的编码掩膜测距及成像方法,包括:基于目标编码掩膜成像系统,确定目标对象对应的编码图案;对所述编码图案进行数字聚焦,确定多个初始重建图像;针对任意一个初始重建图像,根据图像锐度信息评价函数,确定该初始重建图像对应的锐度评价结果;根据每个初始重建图像对应的锐度评价结果,确定所述目标对象对应的测距结果;根据所述目标对象对应的测距结果和所述编码图案,确定所述目标对象对应的目标重建图像。

3、在一种可能的实现方式中,本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于图像锐度评价的编码掩膜测距及成像方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,所述对所述编码图案进行数字聚焦,确定多个初始重建图像,包括:

3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述针对任意一个初始重建图像,根据图像锐度信息评价函数,确定该初始重建图像对应的锐度评价结果,包括:

4.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述根据每个初始重建图像对应的锐度评价结果,确定所述目标对象对应的测距结果,包括:

5.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述根据所述目标对象对应的测距结果和所述编码图案,确定所述目...

【技术特征摘要】

1.一种基于图像锐度评价的编码掩膜测距及成像方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,所述对所述编码图案进行数字聚焦,确定多个初始重建图像,包括:

3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述针对任意一个初始重建图像,根据图像锐度信息评价函数,确定该初始重建图像对应的锐度评价结果,包括:

4.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述根据每个初始重建图像对应的锐度评价结果,确定所述目标对象对应的测距结果,包括:

5.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述根据所述目标对象对应的...

【专利技术属性】
技术研发人员:曹良才刘方宇吴佳琛
申请(专利权)人:清华大学
类型:发明
国别省市:

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