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本公开涉及一种基于图像锐度评价的编码掩膜测距及成像方法和装置，包括：基于目标编码掩膜成像系统，确定目标对象对应的编码图案；对编码图案进行数字聚焦，确定多个初始重建图像；针对任意一个初始重建图像，根据图像锐度信息评价函数，确定该初始重建图像对...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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