蝴蝶阀的控制方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供蝴蝶阀的控制装置及控制方法。多个实施例的蝴蝶阀的控制装置及控制方法执行通过压力级别高速旋转信息预先调节板角度的第一控制模式，可缩短腔室达到目标压力所需的控制时间、控制循环，可提高在腔室执行的工序质量及可靠度。多个实施例的蝴蝶阀的控制方法及控制装置可基于随着工序执行发生的状态变化来更新压力级别高速旋转信息，由此，可执行更加精密的控制。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及蝴蝶阀的控制方法及装置，涉及应用于腔室系统且自动调节腔室内部压力的蝴蝶阀的控制方法及装置。

技术介绍

1、在此表述的内容仅提供本实施例的背景信息，并不构成现有技术。

2、蝴蝶阀可提供通过板的旋转程度来调节由形成在阀本体内的阀通路引导的流体流动并实际关闭流动路径的功能。即，可通过蝴蝶阀控制供给或排出流入特定环境的流体，可支持密封环境的结构。蝴蝶阀主要用于制造高灵敏度半导体元件的工艺腔室内，提供根据工序条件维持工艺腔室内压力的功能。

3、通过蝴蝶阀调节工艺腔室内压力的现有方式基于腔室提供的反馈信息(压力值)执行。控制装置生成输出信号以基于当前测定的压力值追踪目标压力值，基于输出信号控制蝴蝶阀的旋转。随着反复执行上述控制过程，可在腔室形成最终目标压力。

4、这种现有控制方法基于腔室的反馈信息执行，随着获取反馈信息进行分析，不可避免地发生时间损失。即，在快速达成腔室工序条件的过程中，有可能发生时间延迟，在要求高精度、高灵敏度的半导体元件制造过程中，有可能发生最终产品的质量及可靠度下降的问题。p>

5、因此，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种蝴蝶阀的控制装置，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的蝴蝶阀的控制装置，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的蝴蝶阀的控制装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的蝴蝶阀的控制装置，其特征在于，上述阀控制部基于上述目标压力及上述压力信息的变化量来判断是否将上述第一控制模式转换为上述第二控制模式。

5.根据权利要求4所述的蝴蝶阀的控制装置，其特征在于，上述阀控制部判断上述目标压力与上述压力信息是否相同，在上述目标压力与上述压力信息不相同的情况下，判断上述压力信息的变化量，当上述压力信息的变化量大于预设基准值时，维持上述第一控制模式...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种蝴蝶阀的控制装置，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的蝴蝶阀的控制装置，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的蝴蝶阀的控制装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的蝴蝶阀的控制装置，其特征在于，上述阀控制部基于上述目标压力及上述压力信息的变化量来判断是否将上述第一控制模式转换为上述第二控制模式。

5.根据权利要求4所述的蝴蝶阀的控制装置，其特征在于，上述阀控制部判断上述目标压力与上述压力信息是否相同，在上述目标压力与上述压力信息不相同的情况下，判断上述压力信息的变化量，当上述压力信息的变化量大于预设基准值时，维持上述第一控制模式，当上述压力信息的变化量为预设基准值以下时，将上述第一控制模式转换为上述第二控制模...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑盛允，金泰赫，金浚莹，
申请(专利权)人：马卡罗有限公司，
类型：发明
国别省市：