下载蝴蝶阀的控制方法及装置的技术资料

文档序号:42370685

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本发明提供蝴蝶阀的控制装置及控制方法。多个实施例的蝴蝶阀的控制装置及控制方法执行通过压力级别高速旋转信息预先调节板角度的第一控制模式,可缩短腔室达到目标压力所需的控制时间、控制循环,可提高在腔室执行的工序质量及可靠度。多个实施例的蝴蝶阀的控...
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