【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及声表面波器件，特别涉及一种集成无线无源薄膜智能传感系统及其制备方法和应用。
技术介绍
1、制造业的信息化与工业化深度融合以达到智能制造是必然趋势，其中刀具数字化精准管控为基础的制造业数字化智能制造的最重要组成部分。为满足高速、高效、高精度和高可靠性的切削加工要求，切削刀具对获得稳定的高质量表面和完整的高面形精度的零部件起着至关重要的作用。现代加工刀具在复杂恶劣的环境(高温、高速、污染)下工作，刀具在切削加工中的磨损与破损现象直接影响加工工件表面质量以及工件形位公差等。同时，为使高度自动化的加工设备充分发挥其优良性能，确保加工质量，提高生产效率，对刀具加工过程中的状态监测与控制就显得非常必要。
2、目前现有的温度传感主要是热电偶、热敏电阻、电阻式等，为有线测量，测量温度有限，容易受到外界振动等因素的影响，力学测量主要是应变式、压电式和电流式，存在环境适应能力差、价格昂贵、由于系统滞后现象无法实现实时测量等问题。
技术实现思路
1、为了解决现有技术存在的问题，本专利技...
【技术保护点】
1.一种集成无线无源薄膜智能传感系统，其特征在于，包括压电基底、叉指电极、第一反射栅、第二反射栅和质量块；
2.根据权利要求1所述的集成无线无源薄膜智能传感系统，其特征在于，所述叉指电极至少设置4个。
3.根据权利要求2所述的集成无线无源薄膜智能传感系统，其特征在于，所述谐振型声波传感器和所述延迟线性型声波传感器相邻或间隔设置。
4.根据权利要求3所述的集成无线无源薄膜智能传感系统，其特征在于，所述谐振型声波传感器和所述延迟线性型声波传感器各有两个且相邻设置，并沿所述空腔呈方环设置。
5.根据权利要求1所述的集成无线无源...
【技术特征摘要】
1.一种集成无线无源薄膜智能传感系统，其特征在于，包括压电基底、叉指电极、第一反射栅、第二反射栅和质量块；
2.根据权利要求1所述的集成无线无源薄膜智能传感系统，其特征在于，所述叉指电极至少设置4个。
3.根据权利要求2所述的集成无线无源薄膜智能传感系统，其特征在于，所述谐振型声波传感器和所述延迟线性型声波传感器相邻或间隔设置。
4.根据权利要求3所述的集成无线无源薄膜智能传感系统，其特征在于，所述谐振型声波传感器和所述延迟线性型声波传感器各有两个且相邻设置，并沿所述空腔呈方环设置。
5.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘炎，曲远航，孙成亮，刘泽晟，谷曦宇，魏民，陈祥，丁嘉祺，蔡耀，国世上，
申请(专利权)人：武汉大学，
类型：发明
国别省市：
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