【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于三维微纳加工，涉及一种线偏振转换器，更具体的说涉及一种电控宽频线偏振转换器件及制备方法。
技术介绍
1、电磁波的偏振状态在无线通信、液晶显示、遥感技术、电磁隐身技术与光学器件等方面具有非常广泛的应用，而实现动态的宽频的线偏振光转换是非常有意义的一项研究内容。传统的电磁波偏振转换的方法通常依赖于材料的本征属性，通常表现为转换频带窄、转换效率低、不能动态调控、体积大且不利于集成等一系列问题。
2、近年来，超材料作为一种新兴的人工电磁材料，逐渐受到了人们的青睐。超材料是一种人工制造的亚波长材料结构，能够实现对电磁波的精确控制和调节。通常由微观尺度的结构单元组成，这些结构单元的排列和几何形状决定了整体的电磁特性。因此可以通过设计结构的形状、尺寸大小、排列方式和形变来调控它对电磁波的响应与频谱范围。现如今人们已经发展了一些用于微纳加工的手段，例如激光直写技术、电子束刻蚀和聚焦离子束刻蚀等。运用这些技术与超材料结合所设计的结构已经在微纳光学的应用上展现出了其特有的价值。
3、本专利技术旨在提供一种电控宽频线偏振...
【技术保护点】
1.一种电控宽频线偏振转换器，其特征在于，由多个基本单元构成，所述基本单元包括顶层图案层、二氧化硅中间介质层、底层硅基底以及电压控制单元；所述顶层图案层与底层硅基底上分别布设有驱动电极，所述驱动电极与所述电压控制单元相连；其中，所述顶层图案层的图案为圆弧状。
2.根据权利要求1所述电控宽频线偏振转换器，其特征在于，所述控制单元，在顶层图案层经聚焦离子束照射完全翘起后，用于控制顶层图案层与底层硅之间的电压来调控顶层图案层翘起的高度。
3.根据权利要求1或2所述电控宽频线偏振转换器，其特征在于，所述基本单元通过导电银胶粘连在PCB板上；
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