下载一种电控宽频线偏振转换器件及制备方法的技术资料

文档序号:42306043

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本发明提供了一种电控宽频线偏振转换器件及其制备方法,该转换器,由多个基本单元构成,所述基本单元包括顶层图案层、二氧化硅中间介质层、底层硅基底以及电压控制单元;所述顶层图案层与底层硅基底上分别布设有驱动电极,所述驱动电极与所述电压控制单元相连...
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