磁控溅射磁场检测工装制造技术

本技术涉及磁控溅射技术领域，尤其涉及一种磁控溅射磁场检测工装。该磁控溅射磁场检测工装包括夹紧组件、活动组件和高斯计，夹紧组件的端部与活动组件铰接，夹紧组件被配置为夹紧冷却水管，活动组件呈弧形设置，活动组件所在圆的圆心与圆柱形靶材的圆心重合；冷却水管与磁钢连接，夹紧组件与活动组件限定出容置空间，磁钢和冷却水管均位于容置空间内。活动组件上开设有槽口，高斯计的探头能容置在槽口内，以测量圆柱形靶材表面的磁场强度。该磁控溅射磁场检测工装能够提高磁钢磁场强度测量的准确度，无需现有技术中多次调节冷却水管与磁轭之间的距离，省时省力，提高工作效率，节约成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及磁控溅射，尤其涉及一种磁控溅射磁场检测工装。

技术介绍

1、目前，在圆柱靶材磁控溅射过程中，为了保持镀膜产品膜层厚度的均匀性，需要现场调节磁钢的磁场强度，从而改善膜层厚度，提高产品质量。

2、在现有技术中，通常通过调节磁轭与冷却水管之间的距离，从而改变磁轭上的磁铁阵列与靶材内壁之间的间隙，进而改变靶材表面的磁场强度，然后作业人员测量磁轭与冷却水管之间的距离，并据此作为磁场强度调节的依据。这种测量磁场强度的方式费时费力，需要作业人员多次调节磁轭与冷却水管之间的距离，磁场强度测量的工作效率降低，增加成本；同时测量精确度较低。

3、因此，亟需设计一种磁控溅射磁场检测工装，来解决以上技术问题。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提出一种磁控溅射磁场检测工装，能够提高工作效率和测量精确度，省时省力，达到节约成本的目的。

2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：

3、本技术提供一种磁控溅射磁场检测工装，包括夹紧组件、活动组件和高斯计，所述夹紧组件的端部与所述活动组本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.磁控溅射磁场检测工装，其特征在于，包括夹紧组件(100)、活动组件(200)和高斯计，所述夹紧组件(100)的端部与所述活动组件(200)铰接，所述夹紧组件(100)被配置为夹紧冷却水管(10)，所述活动组件(200)呈弧形设置，所述活动组件(200)所在圆的圆心与圆柱形靶材的圆心重合；所述冷却水管(10)与磁钢(20)连接，所述夹紧组件(100)与所述活动组件(200)限定出容置空间(300)，所述磁钢(20)和所述冷却水管(10)均位于所述容置空间(300)内；

2.根据权利要求1所述的磁控溅射磁场检测工装，其特征在于，所述夹紧组件(100)包括第一侧板(110)、底...

【技术特征摘要】

1.磁控溅射磁场检测工装，其特征在于，包括夹紧组件(100)、活动组件(200)和高斯计，所述夹紧组件(100)的端部与所述活动组件(200)铰接，所述夹紧组件(100)被配置为夹紧冷却水管(10)，所述活动组件(200)呈弧形设置，所述活动组件(200)所在圆的圆心与圆柱形靶材的圆心重合；所述冷却水管(10)与磁钢(20)连接，所述夹紧组件(100)与所述活动组件(200)限定出容置空间(300)，所述磁钢(20)和所述冷却水管(10)均位于所述容置空间(300)内；

2.根据权利要求1所述的磁控溅射磁场检测工装，其特征在于，所述夹紧组件(100)包括第一侧板(110)、底板(120)和第二侧板(130)，所述底板(120)位于所述第一侧板(110)和所述第二侧板(130)之间，所述底板(120)的一端与所述第一侧板(110)连接，另一端与所述第二侧板(130)连接；所述冷却水管(10)被夹设在所述第一侧板(110)和所述第二侧板(130)之间。

3.根据权利要求2所述的磁控溅射磁场检测工装，其特征在于，所述第一侧板(110)、所述底板(120)和所述第二侧板(130)三者一体成型。

4.根据权利要求2所述的磁控溅射磁场检测工装，其特征在于，所述夹紧组件(100)还包括紧固件(140)，所述紧固件(140)穿设在所述第一侧板(110)上。

5.根据权利要求4所述的磁控溅射磁场检测工装，其特征在于，所述紧固件(140)包括螺杆(1401)、螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙健博，杨肸曦，彭孝龙，周振国，
申请(专利权)人：苏州迈为科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：