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本技术涉及磁控溅射技术领域，尤其涉及一种磁控溅射磁场检测工装。该磁控溅射磁场检测工装包括夹紧组件、活动组件和高斯计，夹紧组件的端部与活动组件铰接，夹紧组件被配置为夹紧冷却水管，活动组件呈弧形设置，活动组件所在圆的圆心与圆柱形靶材的圆心重合；...
该专利属于苏州迈为科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州迈为科技股份有限公司授权不得商用。

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