【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜机加气系统部件，具体为一种真空镀膜机双重多层混合充气罐装置。
技术介绍
1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜的设备，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
2、在利用真空镀膜机对产品进行镀膜时，为了得到不同种类的膜层，需要向真空镀膜机内通入一种或多种不同种类的反应气体，多种不同种类的反应气体混合的均匀性，直接影响膜层的品质，也会影响所有产品的整体稳定性；传统混合充气罐为单层空心装置，当通入多种不同种类的气体时，传统装置无法将多种不同种类气体混合均匀，导致不均匀的混合气体在产品表变形成低品质的膜层，最终影响产品的使用寿命和整体稳定性。
技术实现思路
1、本技术提供了一种真空镀膜机双重多层混合充气罐装置，以解决
技术介绍
中的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空镀膜机双重多层混合充气罐装置，包括混合充气...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜机双重多层混合充气罐装置，包括混合充气罐装置(1)，其特征在于：所述混合充气罐装置(1)的一侧连通有真空室(2)，另一侧连通有流量计排(3)；
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机双重多层混合充气罐装置，其特征在于：若干个所述分流孔(17)的直径从分流板(16)的中部向其顶部和底部依次递增。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机双重多层混合充气罐装置，其特征在于：所述流量计排(3)包括气体质量流量计(31)、设置于气体质量流量计(31)一端的流量计进气管(32)以及设置于气体质量流量计(31)另一端的流量计出气管(33)，所...
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机双重多层混合充气罐装置，包括混合充气罐装置(1)，其特征在于：所述混合充气罐装置(1)的一侧连通有真空室(2)，另一侧连通有流量计排(3)；
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机双重多层混合充气罐装置，其特征在于：若干个所述分流孔(17)的直径从分流板(16)的中部向其顶部和底部依次递增。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机双重多层混合充气罐装置，其特征在于：所述流量计排(3)包括气体质量流量计(31)、设置于气体质量流量计(31)一端的流量计进气管(32)以及设置于气体质量流量计(31)另一端的流量计出气管(33)，所述流量计排(3)的数量不少于一个。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机双重多层混合充气罐装置，其特征在于：所述进气罐(11)的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘英林，程威，赵先坤，高孝华，
申请(专利权)人：宁波市丹科真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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