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本技术公开了一种真空镀膜机双重多层混合充气罐装置，涉及真空镀膜机加气系统部件技术领域。包括混合充气罐装置，混合充气罐装置的一侧连通有真空室，另一侧连通有流量计排；混合充气罐装置包括进气罐以及出气罐，进气罐的内部设置有混合筒，混合筒的一侧开设...
该专利属于宁波市丹科真空科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波市丹科真空科技有限公司授权不得商用。

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