【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜机温度检测，具体为一种真空镀膜机精准测温装置。
技术介绍
1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
2、在利用真空镀膜机对产品进行镀膜时，为了使产品表面获得较好质量的膜层，真空镀膜机需要对产品进行加热处理，温度值是镀膜工艺中非常重要的参数，不同膜层对温度要求不同，温度值的多少除了影响膜层质量外，还会影响产品外观尺寸，温度过高会使产品外观尺寸产生变化，影响产品的应用，因此温度值的检测尤为重要；
3、传统的测温装置，将测温元件-热电偶，与真空室连接在一起，二者之间电位相同，热电偶直接裸露在真空室内部，在真空环境下，热电偶会直接受到能量来源的辐射，导致热电偶无法精准检测产品真实的温度；同时在镀膜机工作过程中会产生大量的电子，电子带负电，热电偶带正电，会吸引大量电子，导致热电偶也无法精准检测产品真实的温度；由于温度值检测的误差，导致无法获...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜机精准测温装置，包括真空室(1)和精准测温装置(2)，其特征在于：所述精准测温装置(2)包括设置于真空室(1)内部的屏蔽外管(21)，所述屏蔽外管(21)的一侧设有缺口且缺口的内部设置有屏蔽底板(22)，所述屏蔽底板(22)的一侧设置有屏蔽顶板(23)，所述屏蔽底板(22)和屏蔽顶板(23)之间设置有热电偶(24)，所述热电偶(24)的表面套设有玻璃纤维管(25)，所述热电偶(24)的一端穿过屏蔽外管(21)的内部并设置有绝缘组件(26)；
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机精准测温装置，其特征在于：所述真空室(1)的顶部设置有顶板(1...
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机精准测温装置，包括真空室(1)和精准测温装置(2)，其特征在于：所述精准测温装置(2)包括设置于真空室(1)内部的屏蔽外管(21)，所述屏蔽外管(21)的一侧设有缺口且缺口的内部设置有屏蔽底板(22)，所述屏蔽底板(22)的一侧设置有屏蔽顶板(23)，所述屏蔽底板(22)和屏蔽顶板(23)之间设置有热电偶(24)，所述热电偶(24)的表面套设有玻璃纤维管(25)，所述热电偶(24)的一端穿过屏蔽外管(21)的内部并设置有绝缘组件(26)；
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机精准测温装置，其特征在于：所述真空室(1)的顶部设置有顶板(11)，所述顶板(11)的顶部设置有与屏蔽外管(21)相连通的kf法兰下座(12)，所述kf法兰下座(12)上设置有卡子(13)。
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机精准测温装置，其特征在于：所述绝缘组件(26)还包括有通过卡子(13)安装于kf法兰下座(12)顶部的kf法兰上座(264)，所述上盖(261)通过螺钉安装于kf法兰上座(264)的顶部。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机精准测温装置，其特征在于：所述上盖(261)与kf法兰上座(264)之间设置有大密封垫(265)。...
【专利技术属性】
技术研发人员：程威，陈良锦，王晓东，周继承，
申请(专利权)人：宁波市丹科真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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