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本技术公开了一种真空镀膜机精准测温装置，涉及真空镀膜机温度检测技术领域。包括真空室和精准测温装置，精准测温装置包括设置于真空室内部的屏蔽外管，屏蔽外管的一侧设有缺口且缺口的内部设置有屏蔽底板，屏蔽底板的一侧设置有屏蔽顶板，屏蔽底板和屏蔽顶板...
该专利属于宁波市丹科真空科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波市丹科真空科技有限公司授权不得商用。

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