【技术实现步骤摘要】
本技术涉及氮气柜湿度控制领域，特别涉及一种氮气柜内部湿度调节cda的控制装置。
技术介绍
1、氮气柜作为一种氮气保护储物柜，适用于半导体器件工艺生产过程中存放成品、半成品、原材料及器具等，对内部温度、湿度和氧气浓度有着严格要求。氮气柜在开启柜门关闭后，会影响内部湿度，使其难以达到<rh30%的需求湿度。使用现有氮气柜直充氮气方式开关门后无法准确控制内部湿度，对内部存放材料存在一定损坏风险。
2、目前市场上针对氮气柜内部温湿度控制，主要通过plc一体化软件编程及动作控制氮气的供应转换，来实现腔体内部湿度控制功能；此种模式需求花费大且后期模块维护花费较高成本；此外，一体化设计模块需人工进行内部系统参数设置及管控，存在一定人工成本。
技术实现思路
1、本技术目的是：提供一种氮气柜内部湿度调节cda的控制装置，使用普通继电器电路控制cda的充气，达到腔体内部湿度管控要求，内部结构维护成本低，设置便捷，整体结构花费成本低。
2、本技术的技术方案是：
3、氮气...
【技术保护点】
1.氮气柜内部湿度调节CDA的控制装置，其特征在于，控制装置包括氮气柜的腔体柜门触点开关、电源、电源继电器、第一时间继电器和第二时间继电器，其中：
2.根据权利要求1所述的氮气柜内部湿度调节CDA的控制装置，其特征在于，所述氮气柜的腔体为多个，每个腔体分别设有相并联的腔体柜门触点开关。
3.根据权利要求2所述的氮气柜内部湿度调节CDA的控制装置，其特征在于，所述CDA的充气电磁阀为多个，分别对相应的氮气柜的腔体充气，所述电源继电器、第一时间继电器和第二时间继电器分别与电磁阀相等，并对应分组连接。
4.根据权利要求1-3任一项所述的氮...
【技术特征摘要】
1.氮气柜内部湿度调节cda的控制装置，其特征在于，控制装置包括氮气柜的腔体柜门触点开关、电源、电源继电器、第一时间继电器和第二时间继电器，其中：
2.根据权利要求1所述的氮气柜内部湿度调节cda的控制装置，其特征在于，所述氮气柜的腔体为多个，每个腔体分别设有相并联的腔体柜门触点开关。
3.根据权利要求2所述的氮气柜内部湿度调节cda的控制装置，其特征在于，所述cda的充气电磁阀为多个，分别对相应的氮气柜的腔体充气，所述电源继电器、第一时间继电器和第二时间继电器分别与电磁阀相等，并对应分组连接。
4.根据权利要求1-3任一项所述的氮气柜内部湿度调节cda的控制装置，其特征在于，所述腔体柜门触点开关识别柜门的开启关闭信号，触点闭合时电源继电器控制端线圈上电，常开触点闭合，进而带动第一时间继电器上电，延时一段时间后第二时间继电器上电，对应的cda的充气电磁阀开启，再延时一段时间后充气电磁阀关闭。
5.根据权利要求4所述的氮气柜内部湿度调节cda的控制装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：华德楼，徐长明，王琪，
申请(专利权)人：苏州悉智科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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