【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及靶材加工，尤其涉及一种靶材加工用抛光设备。
技术介绍
1、镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。
2、靶材的平整度和表面光洁度对最终产品的性能有着至关重要的影响，因此在靶材生产过程中需要进行抛光处理，传统的靶材抛光设备在进行抛光加工时无法对靶材的装夹平整度进行校准，当靶材出现偏移时会使得表面抛光均匀性差、易产生表面损伤，不能够保证靶材的高精度加工；因此我们提出一种靶材加工用抛光设备来解决这个问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种靶材加工用抛光设备，以解决上述
技术介绍
中所提出的问题。
2、为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
3、一种靶材加工用抛光设备，包括：
4、基座；>
5、夹具，所本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种靶材加工用抛光设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种靶材加工用抛光设备，其特征在于，所述夹具包括圆壳（2）、密封板（4）和多个夹持板（3），多个所述夹持板（3）的外侧均固定连接有连接杆（301），所述连接杆（301）的另一端固定连接有梯形板（302），所述密封板（4）滑动密封连接在所述圆壳（2）内，且所述密封板（4）的一侧固定连接有多个支架（305），所述支架（305）内转动安装有转轮（303），所述转轮（303）活动抵接在对应的所述梯形板（302）的外侧，且所述梯形板（302）的内侧固定连接有连接弹簧（2801），所述圆壳（2）的...
【技术特征摘要】
1.一种靶材加工用抛光设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种靶材加工用抛光设备，其特征在于，所述夹具包括圆壳（2）、密封板（4）和多个夹持板（3），多个所述夹持板（3）的外侧均固定连接有连接杆（301），所述连接杆（301）的另一端固定连接有梯形板（302），所述密封板（4）滑动密封连接在所述圆壳（2）内，且所述密封板（4）的一侧固定连接有多个支架（305），所述支架（305）内转动安装有转轮（303），所述转轮（303）活动抵接在对应的所述梯形板（302）的外侧，且所述梯形板（302）的内侧固定连接有连接弹簧（2801），所述圆壳（2）的内部固定安装有固定环（202），所述连接弹簧（2801）的另一端固定连接在所述固定环（202）的外侧，所述圆壳（2）的一侧连通有多个吸盘（207）。
3.根据权利要求2所述的一种靶材加工用抛光设备，其特征在于，所述基座（1）的顶部固定安装有安装板（102）和两个立板（101），所述安装板（102）的一侧固定连接有气缸（403），所述气缸（403）的输出端上固定连接有圆板（401），所述圆板（401）转动连接在所述密封板（4）的一侧，所述密封板（4）的一侧固定连接有限位罩（402），所述限位罩（402）的侧壁上转动连接有多个限位轮（4021），所述限位轮（4021）活动抵接在所述圆板（401）的一侧，所述圆壳（2）的一侧固定连接有转筒（203），两个所述立板（101）均转动套接在所述转筒（203）的外侧；
4.根据权利要求3所述的一种靶材加工用抛光设备，其特征在于，所述基座（1）的顶部固定安装有控制器（103），所述安装架（601）的顶部固定安装有抛光电机（602），所述抛光轮（6）固定安装在所述抛光电机（602）的输出轴上，所述水箱（7）的顶部固定安装有密封盒（10），所述密封盒（10）的内部滑动密封安装有检测板（16），所述密封盒（10）的侧壁上固定连接有横向弹簧（15）和第一按钮（14），所述横向弹簧（15）的另一端与所述检测板（16）固定连接，所述第一横板（21）的底部固定安装有第二按钮（27），所述水箱（7）的一侧固定安装有第三按钮（29），所述第一按钮（14）、第二按钮（27）、第三按钮（29）、抛光电机（602）、气缸（403）与所述控制器（103）电性连接，所述第一按钮（14）受到按压后通过控制器（103）控制气缸（403）的输出端伸出，所述第二按钮（27）和第三按钮（29）受到按压后控制抛光电机（602）停止运转。
5.根据权利要求1所述的一种靶材加工用抛光设备，其特征在于，所述安装架（601）的一侧开设有滑槽，所述滑板（24）滑动连接在滑槽内，且所述滑槽内固定安装有竖杆，所述滑板（24）滑动套接在所述竖杆...
【专利技术属性】
技术研发人员：常代展，王雷，郝国建，
申请(专利权)人：江苏海泰光电材料科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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