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本发明公开了一种靶材加工用抛光设备，属于靶材加工技术领域，其包括：基座；夹具，所述夹具用于装夹靶材并控制其旋转，所述夹具设置在所述基座的顶部；校准机构，用于校准靶材的装夹平整度，所述校准机构包括第一电动推杆、平移座、升降台和旋转台，所述第一...
该专利属于江苏海泰光电材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏海泰光电材料科技股份有限公司授权不得商用。

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