一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统技术方案

技术编号:42229052 阅读:35 留言:0更新日期:2024-08-02 13:45
本发明专利技术涉及镀膜监测技术领域,具体为一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统;包括:服务器、厚度监测模块和预警控制模块;通过实时监测蒸发镀膜机上若干个监测点的镀膜厚度,根据设定的标准工艺厚度分析得到镀膜评估指数,进而构建镀膜评估指数随时间变化的曲线图,直观了解镀层质量变化趋势;利用评估导数和稳定指数,对镀膜质量的变化趋势进行更细致的分析,帮助发现镀膜质量的不稳定性和变化趋势得到修正指数,并据此生成镀膜修正指令,能及时发现镀膜厚度存在的质量问题,为蒸发镀膜机的预警控制策略实施提供技术支持;通过对镀膜信息进行分析,能够实时评估蒸发镀膜机的磨损情况,再依据磨损情况的严重程度,合理分配维修资源。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及镀膜监测,具体为一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统


技术介绍

1、蒸发镀膜机由真空腔体、加热系统、材料容器等组成,主要用途是将材料加热至蒸发温度蒸发并沉积在待测表面上,形成薄膜或镀层。不同厚度的镀膜可以实现不同的功能,如防反射、增透、防腐蚀等,满足产品对功能性能的要求。因此,为了确保产品的镀膜性能准确,蒸发镀膜机的镀膜厚度监测尤为重要;

2、目前蒸发镀膜机的镀膜厚度监测仪器通常需要长时间运行,长时间运行会导致蒸发镀膜机的磨损和形变,以至于镀膜过程中的薄膜的形成和厚度分布的不稳定,造成蒸发镀膜机的镀膜厚度精度和稳定性不够高,无法满足产品对镀膜厚度的精确要求,进而影响到产品的质量和性能。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统,以解决上述
技术介绍
提到的问题。

2、本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现:一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统,包括:服务器、厚度监测模块和预警控制模块;

3、服务器通过与分布于蒸发镀膜机的各传感器进行通信连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统,其特征在于,包括厚度监测模块和预警控制模块;

2.根据权利要求1所述的一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统,其特征在于,离散比较分析的具体过程为:

3.根据权利要求1所述的一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统,其特征在于,依据镀膜评估指数随着时间变化曲线关系图进行镀膜评估指数的变化趋势分析的具体过程为:

4.根据权利要求3所述的一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统,其特征在于,对镀膜评估指数的维持水平进行评估的具体过程为:

5.根据权利要求1所述的一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统,其特征在于,基于镀膜信息对蒸发镀膜机的蒸发源...

【技术特征摘要】

1.一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统,其特征在于,包括厚度监测模块和预警控制模块;

2.根据权利要求1所述的一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统,其特征在于,离散比较分析的具体过程为:

3.根据权利要求1所述的一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统,其特征在于,依据镀膜评估指数随着时间变化曲线关系图进行镀膜评估指数的变化趋势分析的具体过程为:

4.根据权利要求3所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱九菊刘年生安建昊唐欢欢许帮洪赵剑光
申请(专利权)人:江苏派莱特光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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