【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及镀膜监测,具体为一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统。
技术介绍
1、蒸发镀膜机由真空腔体、加热系统、材料容器等组成,主要用途是将材料加热至蒸发温度蒸发并沉积在待测表面上,形成薄膜或镀层。不同厚度的镀膜可以实现不同的功能,如防反射、增透、防腐蚀等,满足产品对功能性能的要求。因此,为了确保产品的镀膜性能准确,蒸发镀膜机的镀膜厚度监测尤为重要;
2、目前蒸发镀膜机的镀膜厚度监测仪器通常需要长时间运行,长时间运行会导致蒸发镀膜机的磨损和形变,以至于镀膜过程中的薄膜的形成和厚度分布的不稳定,造成蒸发镀膜机的镀膜厚度精度和稳定性不够高,无法满足产品对镀膜厚度的精确要求,进而影响到产品的质量和性能。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统,以解决上述
技术介绍
提到的问题。
2、本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现:一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统,包括:服务器、厚度监测模块和预警控制模块;
3、服务器通过与分布于蒸发镀膜机的
...【技术保护点】
1.一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统,其特征在于,包括厚度监测模块和预警控制模块;
2.根据权利要求1所述的一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统,其特征在于,离散比较分析的具体过程为:
3.根据权利要求1所述的一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统,其特征在于,依据镀膜评估指数随着时间变化曲线关系图进行镀膜评估指数的变化趋势分析的具体过程为:
4.根据权利要求3所述的一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统,其特征在于,对镀膜评估指数的维持水平进行评估的具体过程为:
5.根据权利要求1所述的一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统,其特征在于,基于镀膜信息
...【技术特征摘要】
1.一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统,其特征在于,包括厚度监测模块和预警控制模块;
2.根据权利要求1所述的一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统,其特征在于,离散比较分析的具体过程为:
3.根据权利要求1所述的一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统,其特征在于,依据镀膜评估指数随着时间变化曲线关系图进行镀膜评估指数的变化趋势分析的具体过程为:
4.根据权利要求3所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱九菊,刘年生,安建昊,唐欢欢,许帮洪,赵剑光,
申请(专利权)人:江苏派莱特光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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