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本发明涉及镀膜监测技术领域,具体为一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统;包括:服务器、厚度监测模块和预警控制模块;通过实时监测蒸发镀膜机上若干个监测点的镀膜厚度,根据设定的标准工艺厚度分析得到镀膜评估指数,进而构建镀膜评估指数随时间变化的曲线图,...该专利属于江苏派莱特光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏派莱特光电科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及镀膜监测技术领域,具体为一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统;包括:服务器、厚度监测模块和预警控制模块;通过实时监测蒸发镀膜机上若干个监测点的镀膜厚度,根据设定的标准工艺厚度分析得到镀膜评估指数,进而构建镀膜评估指数随时间变化的曲线图,...