【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种光学系统，尤其是一种高可靠性激光加工用光学系统。
技术介绍
1、随着科技的进步越来越快，对特殊材料一般宜采用激光加工，以利用激光加工实现精细和稳定的加工需求；此时，对激光加工用的光学系统的精度和稳定性也提出更高的要求。
2、目前，现有市面上常规平台的光学系统，在进行激光加工时，存在加工精度以及稳定性较差的情况，无法适应目前对特殊材料激光加工的需求。
技术实现思路
1、本技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种高可靠性激光加工用光学系统，其能有效实现对光斑监控，提高利用光学系统进行激光加工的可靠性。
2、按照本技术提供的技术方案，一种高可靠性激光加工用光学系统，所述光学系统包括：
3、激光束生成单元，包括激光器以及与所述激光器适配的光束光路单元，其中，激光器发射的激光，经光束光路单元形成垂直入射至工件台的加工激光束；
4、光斑监测单元，装配在工件台上，基于工件台运动配置所述光斑监测单元与加工激光束正对应，以利用所述光斑监测单...
【技术保护点】
1.一种高可靠性激光加工用光学系统，其特征是，所述光学系统包括：
2.根据权利要求1所述的高可靠性激光加工用光学系统，其特征是，对光束光路单元，至少包括光路光强调节单元、光路反射镜单元、聚焦扩束单元、可动反射镜组以及聚焦透镜单元，其中，
3.根据权利要求2所述的高可靠性激光加工用光学系统，其特征是，光路光强调节单元与光路反射镜单元间设置第一偏振器；
4.根据权利要求3所述的高可靠性激光加工用光学系统，其特征是，所述聚焦扩束单元包括光路第一聚焦透镜、空间滤波光阑、扩束镜以及与所述扩束镜适配的扩束镜可调电动镜架，其中，
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【技术特征摘要】
1.一种高可靠性激光加工用光学系统，其特征是，所述光学系统包括：
2.根据权利要求1所述的高可靠性激光加工用光学系统，其特征是，对光束光路单元，至少包括光路光强调节单元、光路反射镜单元、聚焦扩束单元、可动反射镜组以及聚焦透镜单元，其中，
3.根据权利要求2所述的高可靠性激光加工用光学系统，其特征是，光路光强调节单元与光路反射镜单元间设置第一偏振器；
4.根据权利要求3所述的高可靠性激光加工用光学系统，其特征是，所述聚焦扩束单元包括光路第一聚焦透镜、空间滤波光阑、扩束镜以及与所述扩束镜适配的扩束镜可调电动镜架，其中，
5.根据权利要求2所述的高可靠性激光加工用光学系统，其特征是，所述可动反射镜组包括第一可动反射镜单元、第二可动反射镜单元以及第三可动反射镜单元，其中，
6.根据权利要求3所述的高可靠性激光...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘永成，
申请(专利权)人：理波光电科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：
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