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本技术涉及一种高可靠性激光加工用光学系统。其包括：激光束生成单元，包括激光器以及与所述激光器适配的光束光路单元；光斑监测单元，装配在工件台上，基于工件台运动配置所述光斑监测单元与加工激光束正对应；监测控制单元，包括控制主机、用于光功率测量的...
该专利属于理波光电科技（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过理波光电科技（无锡）有限公司授权不得商用。

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