一种紫外光学模组的可视化测试系统技术方案

本技术公开了一种紫外光学模组的可视化测试系统，涉及光学检测领域，包括紫外干涉仪以及可见光干涉仪，所述可见光干涉仪产生的可见光线与紫外干涉仪产生的紫外光线的光路方向垂直；功能光学模块，与紫外干涉仪、可见光干涉仪以及待测紫外光学模组适配，至少包括合光镜以及分光棱镜，其中，合光镜用于使紫外光线以及可见光线共线传播至待测紫外光学模组；分光棱镜用于产生第一光路输出光线；旋转反射模块，将分光棱镜出射的第一光路输出光线反射以形成第二光路输入光线；第二光路输入光线包括紫外光反射光线，所述紫外光反射光线传播回紫外干涉仪，以测试待测紫外光学模组的光学特性。该测试系统降低了测试光路的调节难度，提高了测试效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光学检测领域，尤其是一种紫外光学模组的可视化测试系统。

技术介绍

1、使用干涉仪测试光学模组的特性通常都集中在可见光波段，但在半导体技术进入10纳米及以下节点时，光学检测需要用到紫外和深紫外波段，故使用紫外干涉仪测试光学特性需求正逐渐增加。

2、由于紫外干涉仪功率低且紫外光光束不可见，利用紫外干涉仪测试长光程的多镜片非共面复杂光路时，调节反射光使其沿原光路返回进而找到干涉仪信号的难度很大，通常只能把长光程光路拆分成共线的若干短光路，逐路进行调节和测试，如果其中一路光路调节时有问题，还需要从第一光路重新开始调节，调节难度大且调节精度低，影响了光学模组的测试效率。

技术实现思路

1、本专利技术人针对上述问题及技术需求，提出了一种紫外光学模组的可视化测试系统。

2、本技术的技术方案如下：

3、一种紫外光学模组的可视化测试系统，包括：

4、紫外干涉仪，用于产生紫外光线；

5、可见光干涉仪，用于产生可见光线，所述可见光干涉仪产生的可见光线与紫外干涉仪本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种紫外光学模组的可视化测试系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的紫外光学模组的可视化测试系统，其特征在于，所述合光镜的镜面方向与可见光干涉仪产生的可见光线以及紫外干涉仪产生的紫外光线的光路方向夹角均为45°；

3.根据权利要求1所述的紫外光学模组的可视化测试系统，其特征在于，所述待测紫外光学模组包括第一光学单元，第一光学单元包括按照第一光路方向依次设置的第一光阑、半波片、第一偏振棱镜、第一透镜以及第二透镜，其中，

4.根据权利要求3所述的紫外光学模组的可视化测试系统，其特征在于，所述待测紫外光学模组还包括反射单元，包括按照第一光路方向...

【技术特征摘要】

1.一种紫外光学模组的可视化测试系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的紫外光学模组的可视化测试系统，其特征在于，所述合光镜的镜面方向与可见光干涉仪产生的可见光线以及紫外干涉仪产生的紫外光线的光路方向夹角均为45°；

3.根据权利要求1所述的紫外光学模组的可视化测试系统，其特征在于，所述待测紫外光学模组包括第一光学单元，第一光学单元包括按照第一光路方向依次设置的第一光阑、半波片、第一偏振棱镜、第一透镜以及第二透镜，其中，

4.根据权利要求3所述的紫外光学模组的可视化测试系统，其特征在于，所述待测紫外光学模组还包括反射单元，包括按照第一光路方向依次设置的第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜以及第四反射镜；

5.根据权利要求4所述的紫外光学模组的可视化测试系统，其特征在于，所述共线的可见光线以及紫外光线在第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜以及第四反射镜入射面的入射角均为45±1°。

6.根据权利要求4所述的紫外光学模组的可视化测试系统，其特征在于，所述第一反射镜、第...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁森，
申请(专利权)人：理波光电科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：