【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及tft生产，具体涉及一种玻璃基板曝边工艺检测方法。
技术介绍
1、尺规在光电领域作为光罩上设计图形，主要是将tft玻璃边角料去除而设计，如图1所示。由于尺规在制程工艺里暂时没有实现自动化辨认，需人工进行尺规确认是否异常。人员检测尺规第一动作就是眼睛找寻曝光区域的数值，如图2，然后再根据大脑中的记忆比对是否符合该产品制程工艺数字的范围(即图3中所示周曝工艺书说明曝光区域数字0至-5进行制程工艺)，如果曝光区域在范围内，则判定曝边工艺无异常，如果超出范围，则判定玻璃基板曝边异常。
2、然而，现有的判定仅能根据数值判定，对眼力要求较高，且记忆提取也需要一定的时间，通常需要30s才能完成辨识。并且不同的产品的制程工艺可能会对应不同的范围，如果记忆出现偏差，比对就容易出错。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题，在于提供一种玻璃基板曝边工艺检测方法，针对人工判定的改善尺规结构，符合更容易目视辨认的要求，提升人工判定速度和精准度。
2、本专利技术具体包括如
【技术保护点】
1.一种玻璃基板曝边工艺检测方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤10中，当曝光刻度值为5的倍数时，曝光区域图形与非曝光区域图形均包括在刻度基线上方设置的第一高度值的刻度条；当曝光刻度值不是5的倍数时，曝光区域图形与非曝光区域图形均包括在刻度基线上方设置的第二高度值的刻度条；第一高度值大于第二高度值；所述曝光区域图形还包括区域标识图形。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：所述区域标识图形位于刻度基线下方，为一矩形区域，所述矩形区域的一端对应目标曝光区域范围的最小值，另一端对应目标曝光区域范围
<...【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板曝边工艺检测方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤10中，当曝光刻度值为5的倍数时，曝光区域图形与非曝光区域图形均包括在刻度基线上方设置的第一高度值的刻度条；当曝光刻度值不是5的倍数时，曝光区域图形与非曝光区域图形均包括在刻度基线上方设置的第二高度值的刻度条；第一高度值大于第二高度值；所述曝光区域图形还包括区域标识图形。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：所述区域标识图形位于刻度基线下方，为一矩形区域，所述矩形区域的一端对应目标曝光区域范围的最小值，另一端对应目标曝光区域范围的最大值。
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：所述区域标识图形位于刻度基线上方，为两个箭头，一箭头指向目标曝光区域范围的最小值对应的刻度条，另一箭头指向目标曝光区域范围的最大值对应的刻度条。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤10中，所述曝光区域图形包括在刻度基线上方设置的第三高度值的刻度条，所述非曝光区域图形包括在...
【专利技术属性】
技术研发人员：许育仁，纪绍麒，刘悦，杨逸，陈超，潘伟娇，卢柏宏，李坤杰，李航，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：发明
国别省市：
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