下载一种玻璃基板曝边工艺检测方法的技术资料

文档序号:42204340

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本发明公开了一种玻璃基板曝边工艺检测方法,涉及TFT生产技术领域。所述方法包括:在光罩的每一条边的两端设置两个尺规区域,每一尺规区域包括至少一条尺规图形,每一尺规图形包括曝光区域图形和非曝光区域图形,曝光区域图形的位置根据光罩所对应的产品的...
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