一种用于窄测试键的垂直探针卡制造技术

本发明专利技术提供了一种用于窄测试键的垂直探针卡，包括电路板和探针组，该探针组设置在电路板的一侧，且电连接于该电路板；上述探针组包含多个探针，以斜出针的方式布置在电路板上，上述探针具有针先端和针身部分，且针先端和针身部分呈钝角；上述针前端的中间部分装有环状物。本发明专利技术的垂直探针可以保证探针在测试时做垂直上下运动。比起现有探针卡，本发明专利技术所述的垂直探针卡制作工艺简单，且成本降低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种探针卡，尤其涉及一种用于窄测试键的垂直探针卡。技术背景在半导体工艺制作过程中，多在芯片的切割道上放监测元件相关的电 性参数的一些测试键。但为了实现在有限的硅片面积产出更多芯片，近期 各半导体厂皆采用压縮切割道宽度的方式，这对于利用测试键做电性量测 提出了很大的挑战，利用传统的探针卡作测试，图1所示为传统的探针卡，图2所示是传统探针卡的针尖形状，传统的探针卡针尖是尖的，针尖的直 径是13士2um，针尖先接触测试键然后再往前滑动，针痕痕迹是椭圆形的， 如图3所示。探针戳到测试键上，并在测试键上滑动，在测试键被压縮时， 针痕存在打到测试键外面的风险，这时传统的探针卡己经不能满足要求。这时就出现了垂直探针卡，图4所示为垂直探针卡，垂直探针卡的探 针戳到测试键上，探针做垂直的上下运动，因为探针没有在水平方向的滑 动，针痕大小是固定的。针痕没有戳到测试键外面的风险。但是现有垂直 探针卡都是利用弹簧的弹性形变让探针做垂直的上下运动，在针先端中间 部位安装弹簧，利用弹簧的弹性形变，使探针卡针尖戳到测试键时能上下 伸縮完成测试动作，但是水平方向可能因为针晃动和变形，而使得打出针 痕不在同一条水平线上。且现有的垂直探针卡，装有弹簧的探针和基板， 制作成本很高，价格也比传统的探针卡贵7 8倍，会在很大程度上增加生 产成本。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服传统探针卡与现有垂直探针卡的不足，提供一一种用于窄测试键的垂直探针卡，包括电路板和探针组，该探针组设 置在电路板的一侧，且电连接于该电路板；上述探针组包含多个探针，以 斜出针的方式布置在电路板上，上述探针具有针先端和针身部分，且针先 端和针身部分呈钝角；上述针前端的中间部分装有环状物。上述探针的针先端的针尖是扁平状的。该探针的针先端的针尖是长方形的。采用铜轴线实现探针与电路板中电路的电连接。该环状物是由绝缘材料制成。该环状物是由树脂做成的。针先端和针身部分的角度为100-110°之间。上述探针的针先端与针身部分的角度随探针卡与测试键之间的距离 减小而减小。上述探针卡上具有与上述探针的最外侧的环状物接触的限定装置，用 以限定上述环状物位置及其探针在水平方向上的位置。上述多个探针的环状物连成一体，或者每个探针的环状物自成一体。本专利技术的垂直探针可以保证探针在测试时做垂直上下运动。同时因为 本专利技术所述的垂直探针卡制作工艺比现有的装有弹簧的垂直探针要简单， 因此成本会比较低，价格会比现有垂直探针便宜约30%。附图说明图1表示传统的探针卡；图2表示传统探针卡的针尖形状；图3表示传统探针卡的针痕痕迹；图4表示现有的垂直探针卡；图5表示本专利技术所述的垂直探针卡的一个实施例的示意图； 图6表示本专利技术所述的垂直探针卡的另一个实施例的示意图；图7表示本专利技术所述的垂直探针在运动中其针先端与针身的夹角处针身产生形变。图8表示本专利技术所述的垂直探针卡的针尖形状；图9表示本专利技术所述的垂直探针卡的针痕痕迹。具体实施例方式下面结合附图和具体实施例，对本专利技术所述的一种用于窄测试键的探 针卡作进一步的详细说明。本专利技术所述的一种用于窄测试键的垂直探针卡的一个实施例如图5所示，该垂直探针卡1是在现有的传统探针卡的基础上做了一些改进，该垂 直探针包括电路板和探针组，该探针组设置在电路板的一侧，且利用铜轴 线电连接于该电路板，当然也可以采用其他材料连接，例如金、铜等。探针组中包含有若干探针7，各探针7的出针方式是以斜出针的方式布针， 针先端2和针身部分3呈钝角，在本实施例中取110度角，测试时利用针 先端和针身的夹角处针身的形变，而让探针做上下运动。针先端2的长度 为500 550um，现有的传统探针卡的针先端长度为250um，所以本专利技术的 针先端2比现有的探针卡要长250 300um。在针先端2的中间部分装有用 绝缘材料、例如树脂做成的环4，其可以是圆形，也可以是多边形或任意 合适的形状，不限于上述，目的是固定住每一根针的针前端2部分，避免 在测试过程中，探针在水平方向上发生晃动或弯曲。各探针上的环4可以 是连成一体，也可以是自成一体的。在探针组的外围还设置有限定装置6、 例如是环形物，以便对上述探针的最外侧的环4进行限定。图6所示是本专利技术所述的一种用于窄测试键的垂直探针卡的另一个实 施例，与图5所示的实施例不同的是，在该实施例中，探针卡上的探针组 分别从两侧向中间伸出布针，两侧的探针7数目及布置相互对称。此时， 探针排列较为疏松，这是由于探针的排列可以是根据需要探测的测试键的 位置关系而定的。当然，探针卡上的探针组也可以有其他任何合适的排列 方式，不限于上述。如图7所示，探针卡在工作时，探针针先端2做垂直上下运动。当探 针向下运动戳到测试键5时，测试键5会给探针一个向上的抬升力，使得 探针的针先端2和针身部分3在其夹角处产生形变，他们之间的钝角会变 成锐角，这个角度随着受力的增大而减小；当探针向上抬升时，针先端2 和针身部分3之间的夹角又逐渐变大，恢复成为钝角。图8所示为本专利技术所述的垂直探针卡的针尖形状，垂直探针卡的针尖 是扁平的，针先端的直径取为18±2um，针尖在测试键做垂直的上下运动， 针痕痕迹是长方形，如图9所示。因为本专利技术所述的垂直探针卡制作工艺比现有的装有弹簧的垂直探 针要简单，因此成本会比较低，价格会比现有垂直探针便宜约30%。以上所述仅为本专利技术的较佳实施例，并非用来限定本专利技术的实施范 围；如果不脱离本专利技术的精神和范围，对本专利技术进行修改或者等同替换的， 均应涵盖在本专利技术的权利要求的保护范围当中。权利要求1.一种用于窄测试键的垂直探针卡，其特征在于包括电路板和探针组，该探针组设置在电路板的一侧，且电连接于该电路板；上述探针组包含多个探针，以斜出针的方式布置在电路板上，上述探针具有针先端和针身部分，且针先端和针身部分呈钝角；上述针先端的中间部分装有环状物。2. 根据权利要求1所述的一种用于窄测试键的垂直探针卡，其特征在 于上述探针的针先端的针尖是扁平状的。3. 根据权利要求2所述的一种用于窄测试键的垂直探针卡，其特征在 于该探针的针先端的针尖是长方形的。4. 根据权利要求1所述的一种用于窄测试键的垂直探针卡，其特征在 于采用铜轴线实现探针与电路板中电路的电连接。5. 根据权利要求1所述的一种用于窄测试键的垂直探针卡，其特征在 于该环状物是由绝缘材料制成。6. 根据权利要求1所述的一种用于窄测试键的垂直探针卡，其特征在 于该环状物是由树脂做成的。7. 根据权利要求1所述的一种用于窄测试键的垂直探针卡，其特征在 于上述针先端和针身部分的角度为100-110°之间。8. 根据权利要求1所述的一种用于窄测试键的垂直探针卡，其特征在 于上述探针的针先端与针身部分的角度随探针卡与测试键之间的距离减 小而减小。9. 根据权利要求1所述的一种用于窄测试键的垂直探针卡，其特征在 于上述探针卡上具有与上述探针的最外侧的环状物接触的限定装置，用以 限定上述环状物位置及其探针在水平方向上的位置。10. 根据权利要求1所述的一种用于窄测试键的垂直探针卡，其特征 在于上述多个探针的环状物连成一体，或者每个探针的环状物自成一体。全文摘要本专利技术提供了一种用于窄测试键的垂直探针卡，包括电路板和探针组，该探针组本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于窄测试键的垂直探针卡，其特征在于　包括电路板和探针组，该探针组设置在电路板的一侧，且电连接于该电路板；上述探针组包含多个探针，以斜出针的方式布置在电路板上，上述探针具有针先端和针身部分，且针先端和针身部分呈钝角；上述针先端的中 间部分装有环状物。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：殷卫中，王政烈，
申请(专利权)人：和舰科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：32[]