【技术实现步骤摘要】
本技术涉及蒸镀设备，具体是一种蒸发源加热装置及其蒸发源。
技术介绍
1、真空镀膜为半导体领域一种用处及其广泛的成膜方式，其方法是在真空腔室中放有蒸发物的坩埚，通过给安装在其内部的适配的加热源通电，使得蒸发源装置升温，进而使得放置于坩埚中的蒸发物气化，然后从放置于坩埚上的喷出口(业内专用名词为喷嘴)喷出，最后沉积在固定位置的基板上，形成膜层；
2、在线型蒸发源中，常见的加热源成横向密集排布和纵向波浪型排布，但两者各有优缺点，横向密集排布形加热源由于其对坩埚的加热位置比较集中，为保证材料分子具有足够的蒸发速率，其加热的热量在集中位置比较高，因此容易发生材料裂解，导致产品不良；纵向波浪型加热源扩展了加热面积，无材料裂解的现象，但由于其对坩埚的加热位置不集中，对应位置的坩埚盖受热温度较低，材料容易在材料喷出口形成结晶，容易发生喷嘴口材料堵塞的现象，需要破真空开腔处理或将顶部加热温度提高处理。
3、目前对于上述两个问题，为了保证产品良率，一般会在保证材料不发生裂解的安全温度下进行生产，与此同时若发生堵孔，则停止生产，或降温...
【技术保护点】
1.一种蒸发源加热装置，包括顶部加热装置(1)，其特征在于，所述顶部加热装置(1)包括横向加热丝主体(12)、纵向加热丝主体(14)，所述横向加热丝主体(12)、纵向加热丝主体(14)均为S型折弯结构，所述横向加热丝主体(12)与所述纵向加热丝主体(14)交叉布置。
2.根据权利要求1所述的一种蒸发源加热装置，其特征在于，所述横向加热丝主体(12)的端部连接有横向加热丝端子(11)，所述纵向加热丝主体(14)的端部连接有纵向加热丝端子(13)。
3.根据权利要求1所述的一种蒸发源加热装置，其特征在于，所横向加热丝主体(12)为往复折弯的S型结构...
【技术特征摘要】
1.一种蒸发源加热装置，包括顶部加热装置(1)，其特征在于，所述顶部加热装置(1)包括横向加热丝主体(12)、纵向加热丝主体(14)，所述横向加热丝主体(12)、纵向加热丝主体(14)均为s型折弯结构，所述横向加热丝主体(12)与所述纵向加热丝主体(14)交叉布置。
2.根据权利要求1所述的一种蒸发源加热装置，其特征在于，所述横向加热丝主体(12)的端部连接有横向加热丝端子(11)，所述纵向加热丝主体(14)的端部连接有纵向加热丝端子(13)。
3.根据权利要求1所述的一种蒸发源加热装置，其特征在于，所横向加热丝主体(12)为往复折弯的s型结构，相邻折弯加热丝之间的横向间距为0-1mm。
4.根据权利要求1所述的一种蒸发源加热装置，其特征在于，所述纵向加热丝主体(14)为往复折弯的s型结构，所述纵向加热丝主体(14)的纵向加热丝高度(16)与相邻折弯加热丝之间的纵向加热丝间距(141)的比值不小于3.5。
5.根据权利要求1所述的一种蒸发源加热装置，其特征在于，所述横向加热丝主体(12)的电阻与所述纵向加热丝的电阻的比值为2-3.5。
6.根据权利要求1所述的一种蒸发源加热装置，其特征在于，所述纵向加热丝主体(14)底...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹景博，张红信，
申请(专利权)人：合肥欣奕华智能机器股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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