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本技术公开了一种蒸发源加热装置，包括顶部加热装置，所述顶部加热装置包括横向加热丝主体、纵向加热丝主体，所述横向加热丝主体、纵向加热丝主体均为S型折弯结构，所述横向加热丝主体与所述纵向加热丝主体交叉布置，本申请通过设置横向加热丝和纵向加热丝，...
该专利属于合肥欣奕华智能机器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥欣奕华智能机器股份有限公司授权不得商用。

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