一种用语义和视觉解释增强半导体缺陷分析的方法和系统技术方案

本发明专利技术公开了一种用语义和视觉解释增强半导体缺陷分析的方法和系统，属于半导体缺陷分析领域。获取晶圆缺陷图像诊断数据集，包括晶圆缺陷SEM图像和诊断报告，所述诊断报告中包含针对多个缺陷诊断任务的句子；采用晶圆缺陷图像诊断数据集训练网络，该网络为基于空间‑通道注意力的编解码器结构；在训练过程中，需将对应缺陷诊断任务的句子作为解码器输入，引导解码器生成目标句子；利用训练后的多任务的缺陷图像诊断网络分析晶圆缺陷SEM图像。本发明专利技术设计了包含不同诊断任务的诊断报告，为晶圆缺陷SEM图像诊断提供了一个新的视角；提出的多任务的缺陷图像诊断网络相对于其他基线，在达到更高的准确率和BLEU的同时消耗了更少的时间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体缺陷分析领域，尤其涉及一种用语义和视觉解释增强半导体缺陷分析的方法和系统。

技术介绍

1、近年来，深度学习技术的快速发展对各类工业界图像领域产生了显著的影响。传统的缺陷分类和检测任务支持从大量晶圆图或扫描电镜（sem）图像中快速锁定缺陷，帮助良率提升工程师进行人工诊断和决策，这类自动决策任务也常常被视为标准分类问题。尽管传统对象级视觉任务，如检测、匹配、和分类等在晶圆缺陷处理取得了一些成就，但语义级任务，如图像字幕，仍然是一个棘手的问题。在晶圆真实生产线上，良率提升工程师们经常需要观察晶圆图，由扫描电子显微镜观察大量缺陷扫描电镜图像，根据图像和晶圆分析缺陷的大小、凹凸性、类型和所在工艺层等信息，记录图像中的显微镜检查结果，以进行诊断并回溯工艺流程，找到造成缺陷的根因。因此，晶圆缺陷图像字幕需要尽量用连贯和简洁的自然语言描述，准确地总结特定图像的特定场景。这不仅需要计算机模拟人类的视觉来识别优势物体，探索不同物体之间的关系，还需要计算机用语法清晰准确、词汇多样的句子来解释识别出来的图像内容。

2、早期的研究通常采用传统的方法，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用语义和视觉解释增强半导体缺陷分析的方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用语义和视觉解释增强半导体缺陷分析的方法，其特征在于，所述的缺陷诊断任务包括：

3.根据权利要求2所述的用语义和视觉解释增强半导体缺陷分析的方法，其特征在于，诊断报告中用于描述多个缺陷诊断任务的句子满足以下条件：

4.根据权利要求1所述的用语义和视觉解释增强半导体缺陷分析的方法，其特征在于，所述晶圆缺陷图像诊断数据集中的晶圆缺陷SEM图像是通过将不同角度拍摄的晶圆缺陷SEM图像合成得到的。

5.根据权利要求1所述的用语义和视觉解释增强半导体缺陷分析...

【技术特征摘要】

1.一种用语义和视觉解释增强半导体缺陷分析的方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用语义和视觉解释增强半导体缺陷分析的方法，其特征在于，所述的缺陷诊断任务包括：

3.根据权利要求2所述的用语义和视觉解释增强半导体缺陷分析的方法，其特征在于，诊断报告中用于描述多个缺陷诊断任务的句子满足以下条件：

4.根据权利要求1所述的用语义和视觉解释增强半导体缺陷分析的方法，其特征在于，所述晶圆缺陷图像诊断数据集中的晶圆缺陷sem图像是通过将不同角度拍摄的晶圆缺陷sem图像合成得到的。

5.根据权利要求1所述的用语义和视觉解释增强半导体缺陷分析的方法，其特征在于，训练所述的缺陷图像诊断网络之前，需要对诊断报告中的句子进行预处理，包括：

6.根据权利要求1所述的用语义和视觉解释增强半导体缺陷分析的方法，其特征在于，所述缺陷图像诊断网络中的编码器采用vision transformer...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈一宁，罗悦宁，高大为，陈鼎崴，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：