温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种用语义和视觉解释增强半导体缺陷分析的方法和系统，属于半导体缺陷分析领域。获取晶圆缺陷图像诊断数据集，包括晶圆缺陷SEM图像和诊断报告，所述诊断报告中包含针对多个缺陷诊断任务的句子；采用晶圆缺陷图像诊断数据集训练网络，该网络为...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。