一种应用在管路清洁系统上的冷却装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种应用在管路清洁系统上的冷却装置，涉及半导体设备冷却技术领域；包括：进水供应块，用于提供冷却水；进水接头，设置在清洁系统反应发射器上，用于将冷却水送入反应发射器内部水路；出水接头，设置在清洁系统反应发射器上，用于将反应发射器内部水路的冷却水输出；三通接头，用于接收冷却水；冷却水管，用于冷却气体传输管路；冷却块，用于冷却气体传输管路；三通切换阀，用于切换水路；回水供应块，用于收集冷却回水。当管路清洁系统不运行时，循环冷却水只流向清洁系统反应发射器，当管路清洁系统运行时切换三通阀，此时循环冷却水流过清洁系统反应发射器、气体传输管路形成循环冷却的效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体设备冷却，具体涉及一种应用在管路清洁系统上的冷却装置。

技术介绍

1、在半导体设备中，工艺腔体与末端管路、阀门距离过远，所以清洁工艺腔体时，末端管路、阀门上的污染物无法被彻底清除，因此需要对末端管路单独增加一套清洁系统，由于末端管路与阀门连接一起且路径较近，故对管路进行清洁的同时阀门也一起被清洁干净。

2、在管路清洁系统运行过程中，由于化学反应会产生大量的热能，如果不能及时散发出去，就会导致清洁气体传输管路温度升高甚至有损坏风险，影响半导体设备的正常运行和稳定性。因此，管路清洁系统需要设计合理的散热结构，及时将产生的热量带走，保持清洁气体传输管路的正常工作温度。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于，提供一种应用在管路清洁系统上的冷却装置，确保热量能够及时、有效地散发出去；可有效的保护设备和人身安全。

2、为实现上述目的，本申请的技术方案为：一种应用在管路清洁系统上的冷却装置，包括：

3、进水供应块，用于提供冷却水；

4、进水接头，设置在清本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种应用在管路清洁系统上的冷却装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述一种应用在管路清洁系统上的冷却装置，其特征在于，所述回水供应块与三通切换阀之间设有水用数字式流量开关，该水用数字式流量开关与清洁系统控制器相连。

3.根据权利要求1所述一种应用在管路清洁系统上的冷却装置，其特征在于，所述冷却块包括第一尺寸管路上冷却包块、第一尺寸管路下冷却包块、第二尺寸管路左半边包裹冷却块、第二尺寸管路右半边包裹冷却块，所述第一尺寸管路上冷却包块与第一尺寸管路下冷却包块对接将管径小的气体传输管路包围，所述第二尺寸管路左半边包裹冷却块与第二尺寸管路右半边包裹冷却块对接将...

【技术特征摘要】

1.一种应用在管路清洁系统上的冷却装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述一种应用在管路清洁系统上的冷却装置，其特征在于，所述回水供应块与三通切换阀之间设有水用数字式流量开关，该水用数字式流量开关与清洁系统控制器相连。

3.根据权利要求1所述一种应用在管路清洁系统上的冷却装置，其特征在于，所述冷却块包括第一尺寸管路上冷却包块、第一尺寸管路下冷却包块、第二尺寸管路左半边包裹冷却块、第二尺寸管路右半边包裹冷却块，所述第一尺寸管路上冷却包块与第一尺寸管路下冷却包块对接将管径小的气体传输管路包围，所述第二尺寸管路左半边包裹冷却块与第二尺寸管路右半边包裹冷却块对接将管径大的气体传输管路包围。

4.根据权利要求3所述一种应用在管路清洁系统上的冷却装置，其特征在于，所述冷却水管与第一尺寸管路下冷却包块的水路连通，第一尺寸管路下冷却包块与第一尺寸管路上冷却包块的水路连通，第一尺寸管路上冷却包块与第二尺寸管路左半边包裹冷却块的水路连通，第二尺寸管路左半边包裹冷却块与第二尺寸管路右半边包裹冷却块的水路连通，第二尺寸管路右半边包裹冷却块与三通切换阀相连。

5.根据权利要求1所述一种应用在管路清洁系统...

【专利技术属性】
技术研发人员：纪海瑞，王正国，徐家庆，唐丽娜，
申请(专利权)人：大连皓宇电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：