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本发明公开了一种应用在管路清洁系统上的冷却装置，涉及半导体设备冷却技术领域；包括：进水供应块，用于提供冷却水；进水接头，设置在清洁系统反应发射器上，用于将冷却水送入反应发射器内部水路；出水接头，设置在清洁系统反应发射器上，用于将反应发射器内...
该专利属于大连皓宇电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连皓宇电子科技有限公司授权不得商用。

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