【技术实现步骤摘要】
本技术涉及水冷柱升降,具体涉及一种防止微波泄露的水冷柱升降机构。
技术介绍
1、金刚石在腔室内部进行生长时,需要通过水冷柱来控制高度,现有的水冷柱多是通过人工根据金刚石的生长情况来对水冷柱的高度进行调节,但人工调节存在调节精度较低的问题,且与操作者的操作经验有直接关系,因此目前多通过电动推杆来调节水冷柱的高度;
2、但通过电动推杆调节仍存在一定问题,电动推杆的行程由缸体的长度直接决定,即若需要较大行程,则缸体的长度需要增大,这就导致了电动推杆整体尺寸偏大,为了适配电动推杆的尺寸,水冷柱的长度同样需较长,不利于实际使用。
3、因此,需要一种防止微波泄露的水冷柱升降机构,以克服上述问题的发生。
技术实现思路
1、为了解决上述问题,本技术实施例提供了一种防止微波泄露的水冷柱升降机构,实现了解决
技术介绍
中所提出问题的目的。
2、本技术实施例为了实现上述目的,具体采用以下技术方案:一种防止微波泄露的水冷柱升降机构,包括腔壁,所述腔壁的内部滑动设置有水冷柱,所述水冷
...【技术保护点】
1.一种防止微波泄露的水冷柱升降机构,包括腔壁(1),所述腔壁(1)的内部滑动设置有水冷柱(2),其特征在于,所述水冷柱(2)上安装有底板(3),所述底板(3)上设置有用于控制水冷柱(2)移动的驱动机构(4);
2.根据权利要求1所述的防止微波泄露的水冷柱升降机构,其特征在于,所述腔壁(1)的内部设置有弹性金属环(7),所述弹性金属环(7)的内侧贴合在水冷柱(2)上。
3.根据权利要求1所述的防止微波泄露的水冷柱升降机构,其特征在于,所述水冷柱(2)的外部罩设有伸缩管(5)。
4.根据权利要求3所述的防止微波泄露的水冷柱升降机构,其
...【技术特征摘要】
1.一种防止微波泄露的水冷柱升降机构,包括腔壁(1),所述腔壁(1)的内部滑动设置有水冷柱(2),其特征在于,所述水冷柱(2)上安装有底板(3),所述底板(3)上设置有用于控制水冷柱(2)移动的驱动机构(4);
2.根据权利要求1所述的防止微波泄露的水冷柱升降机构,其特征在于,所述腔壁(1)的内部设置有弹性金属环(7),所述弹性金属环(7)的内侧贴合在水冷柱(2)上。
3.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员:程永红,王港龙,
申请(专利权)人:河南芯钻新材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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