一种集成Micro-LED发光芯片的AFM探针及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种集成Micro‑LED发光芯片的AFM探针及其制备方法，其中，AFM探针包括：基座，基座的一侧延展出有微悬臂梁，微悬臂梁远离基座的末端下侧刻蚀有针尖，微悬臂梁在针尖的相对侧表面设置有Micro‑LED发光芯片，Micro‑LED发光芯片用于朝四象限探测器发送光信号，以使四象限探测器将光信号转化为电信号进而检测待测物体的形貌。本发明专利技术对应的结构可以有效提高AFM探针的稳定性和灵敏度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及afm探针领域，特别是涉及一种集成micro-led发光芯片的afm探针及其制备方法。

技术介绍

1、原子力显微镜(atomic force microscope,afm)是一种具有原子分辨率的表面形貌、电磁性能分析的重要仪器。它的工作原理基于测量微小力量对探针的作用，从而提供高分辨率的表面拓扑图像。afm探针利用一端带有针头和针尖的微悬臂来探测材料表面的特征，通过检测针尖和试样间的作用力来获得表面成像。这种探针可用于在大气、液体环境中检测纳米区材料及样品的物理特性，也可直接进行纳米操作。

2、afm探针是原子力显微镜的关键部件，其性能直接影响到测量结果的准确性和可靠性。现在的afm探针多数通过激光反射至四象限探测器接收，其光线经过反射后容易出现能量损耗等问题，可能无法保证反射光的稳定性能，导致四象限探测器接收的光信号不稳定出现检测灵敏度下降的问题。探针在扫描过程中，悬臂梁形变导致反射光发生变化，也容易引起检测的准确性下降。

技术实现思路

1、有鉴于现有技术的上述的一部分缺陷，本专利本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种集成Micro-LED发光芯片的AFM探针，其特征在于，所述AFM探针包括：基座，所述基座的一侧延展出有微悬臂梁，所述微悬臂梁远离所述基座的末端下侧刻蚀有针尖，所述微悬臂梁在所述针尖的相对侧表面设置有Micro-LED发光芯片，所述Micro-LED发光芯片用于朝四象限探测器发送光信号，以使所述四象限探测器将所述光信号转化为电信号进而检测待测物体的形貌。

2.根据权利要求1所述集成Micro-LED发光芯片的AFM探针，其特征在于，所述AFM探针还包括：第一超透镜，所述第一超透镜设置在所述针尖旁边并贯穿所述微悬臂梁，所述第一超透镜用于进行精细操作，所述第一超透镜聚焦焦...

【技术特征摘要】

1.一种集成micro-led发光芯片的afm探针，其特征在于，所述afm探针包括：基座，所述基座的一侧延展出有微悬臂梁，所述微悬臂梁远离所述基座的末端下侧刻蚀有针尖，所述微悬臂梁在所述针尖的相对侧表面设置有micro-led发光芯片，所述micro-led发光芯片用于朝四象限探测器发送光信号，以使所述四象限探测器将所述光信号转化为电信号进而检测待测物体的形貌。

2.根据权利要求1所述集成micro-led发光芯片的afm探针，其特征在于，所述afm探针还包括：第一超透镜，所述第一超透镜设置在所述针尖旁边并贯穿所述微悬臂梁，所述第一超透镜用于进行精细操作，所述第一超透镜聚焦焦距大于针尖高度。

3.根据权利要求1所述集成micro-led发光芯片的afm探针，其特征在于，所述micro-led发光芯片上方设置有整形透镜，所述整形透镜用于对所述micro-led发光芯片发出的光进行整形。

4.根据权利要求3所述集成micro-led发光芯片的afm探针，其特征在于，所述整形透镜的朝向、所述micro-led发光芯片的中心发光朝向以及所述四象限探测器的接收朝向均在同一条直线上。

5.根据权利要求3所述集成micro-led发光芯片的afm...

【专利技术属性】
技术研发人员：周雄图，张永爱，郭太良，吴朝兴，李文美，叶芸，余元春，
申请(专利权)人：福州市福大微纳显示科技有限公司，
类型：发明
国别省市：