温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种集成Micro‑LED发光芯片的AFM探针及其制备方法，其中，AFM探针包括：基座，基座的一侧延展出有微悬臂梁，微悬臂梁远离基座的末端下侧刻蚀有针尖，微悬臂梁在针尖的相对侧表面设置有Micro‑LED发光芯片，Micro‑L...
该专利属于福州市福大微纳显示科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福州市福大微纳显示科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。