一种均匀抽风的蚀刻槽抽风管制造技术

本技术公开了一种均匀抽风的蚀刻槽抽风管，由相互套设的抽风外管及抽风内管组成，且抽风外管和抽风内管上均开有两排径向错位并对应重合的抽风口增加了抽风范围使抽风更均匀；此外，抽风管的抽风口大小是实现均匀抽风的关键，按照距离抽风墙负压口的远近改变孔径，即靠近抽风墙一端负压大则减小抽风口以降低抽风量，远离抽风墙一端负压小则增大抽风口孔径以提高抽风量，从而实现抽风管轴向上的均匀抽风；此外，抽风外管和抽风内管间隙配合可以转动便于调节抽风口的大小，使得槽体的抽风强弱变得可控。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光伏硅片湿法设备，特别涉及一种均匀抽风的蚀刻槽抽风管。

技术介绍

1、依赖于近年不断降低的生产成本和光电转换效率的提升，光伏发电已经成为一种可替代化石能源的技术。太阳能电池的制作过程，硅片由于经切片、研磨、倒角、抛光等多道工序加工成的硅片表面已吸附了各种杂质，在进行扩散前需要进行清洗以消除各类污染物，并制作能够减少表面太阳光反射的绒面结构(制绒)，且清洗的洁净程度直接影响着电池片的成品率和可靠率。

2、在硅片清洗制绒过程中，花篮用于盛放硅片便于清洗和转移，即把硅片放在花篮里，通过机械手臂传递花篮依次到不同工艺槽里使来料硅片实现清洗并利用工艺槽中的药水实现在硅片表面的刻蚀制绒。由于制绒工艺需要用到药水槽，因此存在药液挥发的状况，而挥发的药液蒸汽如果直接排放到车间不仅会污染车间环境，而且会对严重危害工人健康且对车间设备造成侵蚀损坏。

3、因此，需要采取有效的措施及时的将制绒工艺槽挥发的药液蒸汽抽走，而现有技术中采用的抽风方式大多是在槽体一侧抽风墙上开孔洞进行抽风，孔洞的大小可以调节，孔洞与抽风墙相连接，抽风墙与机台顶部抽风口相本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种均匀抽风的蚀刻槽抽风管，其特征在于，包括抽风内管(20)及轴向套设在所述抽风内管(20)外侧的抽风外管(10)；

2.根据权利要求1所述的均匀抽风的蚀刻槽抽风管，其特征在于，相邻两排所述外抽风口沿轴向错位设置，且相邻两排所述内抽风口沿轴向错位设置。

3.根据权利要求1所述的均匀抽风的蚀刻槽抽风管，其特征在于，还包括定位环(30)，所述定位环(30)固定套设在所述抽风内管(20)外侧并轴向连接至所述抽风外管(10)对应所述堵头(40)的一端，以对所述抽风外管(10)起定位作用。

4.根据权利要求1所述的均匀抽风的蚀刻槽抽风管，其特征在于，还包括抽...

【技术特征摘要】

1.一种均匀抽风的蚀刻槽抽风管，其特征在于，包括抽风内管(20)及轴向套设在所述抽风内管(20)外侧的抽风外管(10)；

2.根据权利要求1所述的均匀抽风的蚀刻槽抽风管，其特征在于，相邻两排所述外抽风口沿轴向错位设置，且相邻两排所述内抽风口沿轴向错位设置。

3.根据权利要求1所述的均匀抽风的蚀刻槽抽风管，其特征在于，还包括定位环(30)，所述定位环(30)固定套设在所述抽风内管(20)外侧并轴向连接至所述抽风外管(10)对应所述堵头(40)的一端，以对所述抽风外管(10)起定位作...

【专利技术属性】
技术研发人员：张淋，袁成，李春慧，
申请(专利权)人：珠海普伊特自动化系统有限公司，
类型：新型
国别省市：