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本技术公开了一种均匀抽风的蚀刻槽抽风管，由相互套设的抽风外管及抽风内管组成，且抽风外管和抽风内管上均开有两排径向错位并对应重合的抽风口增加了抽风范围使抽风更均匀；此外，抽风管的抽风口大小是实现均匀抽风的关键，按照距离抽风墙负压口的远近改变孔...
该专利属于珠海普伊特自动化系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海普伊特自动化系统有限公司授权不得商用。

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