【技术实现步骤摘要】
本技术涉及氧化镓单晶用研磨,尤其涉及一种具有筛分结构的氧化镓单晶用研磨装置。
技术介绍
1、氧化镓是一种透明传导氧化物半导体材料,在光电子器件方面有广阔的应用前景,可被用于ga基半导体材料的绝缘层,透明导电氧化物、紫外发光材料和气体传感器等方面,随着研究热潮的兴起,目前很多研究已经集中于制备具有纳米结构的ga2o3材料,如纳米线、纳米棒、纳米带等,已被多种方法合成出来,其在光电子器件、气敏传感器和催化等方面的应用价值也渐渐被发掘出来。
2、氧化镓单晶在研磨完成后,会有一些的氧化镓单晶未被研磨完全,需要将研磨不完全的氧化镓单晶筛分出来,重新研磨,现有的氧化镓单晶用研磨装置多数不具备对研磨完成后的氧化镓单晶筛分的功能,需要工作人员将研磨完成后的氧化镓单晶放入筛分机内部,进行筛分,不能一体完成研磨筛分操作,自动化程度不高,不便于工作人员使用,为此我们提出了一种具有筛分结构的氧化镓单晶用研磨装置。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足,本技术提供了一种具有筛分结构的氧化镓单晶用研磨装置
...【技术保护点】
1.一种具有筛分结构的氧化镓单晶用研磨装置,包括箱体(1),其特征在于,所述箱体(1)的顶部相连通有进料管(2),所述箱体(1)的内部固定连接有研磨板(3),所述研磨板(3)的顶部设置有研磨组件,所述箱体(1)的顶部设置有第一电机(5),所述箱体(1)的内部设置有第一筛分板(10),所述第一筛分板(10)的顶部固定连接有连接杆(11),所述连接杆(11)的顶部固定连接有第二筛分板(12),所述箱体(1)的内壁底部设置有支撑组件,所述箱体(1)的一侧设置有第二电机(14),所述箱体(1)的内部设置有往复移动组件,所述箱体(1)的一侧铰接有密封板(18)。
2
...【技术特征摘要】
1.一种具有筛分结构的氧化镓单晶用研磨装置,包括箱体(1),其特征在于,所述箱体(1)的顶部相连通有进料管(2),所述箱体(1)的内部固定连接有研磨板(3),所述研磨板(3)的顶部设置有研磨组件,所述箱体(1)的顶部设置有第一电机(5),所述箱体(1)的内部设置有第一筛分板(10),所述第一筛分板(10)的顶部固定连接有连接杆(11),所述连接杆(11)的顶部固定连接有第二筛分板(12),所述箱体(1)的内壁底部设置有支撑组件,所述箱体(1)的一侧设置有第二电机(14),所述箱体(1)的内部设置有往复移动组件,所述箱体(1)的一侧铰接有密封板(18)。
2.根据权利要求1所述的一种具有筛分结构的氧化镓单晶用研磨装置,其特征在于,所述箱体(1)的顶部固定连接有支撑架(4),所述第一电机(5)固定安装在支撑架(4)上。
3.根据权利要求1所述的一种具有筛分结构的氧化镓单晶用研磨装置,其特征在于,所述研磨组件,包括固定连接在第一电机(5)输出端上的第一转轴(6),所述第一转轴(6)延伸至箱体(1)的内部,所述第一转轴(6)的外部固定连接有研...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄成,商龙梅,
申请(专利权)人:常州锦钿半导体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。