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本技术公开了一种具有筛分结构的氧化镓单晶用研磨装置,包括箱体,所述箱体的顶部相连桶有进料管,所述箱体的内部固定连接有研磨板,所述研磨板的顶部设置有研磨组件,所述箱体的顶部设置有第一电机,所述箱体的内部设置有第一筛分板,所述第一筛分板的顶部固...该专利属于常州锦钿半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州锦钿半导体科技有限公司授权不得商用。
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