一种晶圆定位装置制造方法及图纸

本技术涉及一种晶圆的生产装置，尤其是一种晶圆定位装置，包括夹爪气缸，还包括：定位块，对称固定在所述夹爪气缸的夹爪上，所述定位块上设有夹紧弧面；若干弹性块，固定在所述夹紧弧面上，且每个所述夹紧弧面上的弹性块均不少于两个，所述弹性块还与晶圆相对设置；以及托盘，设于所述夹爪气缸上，且位于两个所述定位块之间，用于放置晶圆。本技术提供的一种晶圆定位装置在放入或取出晶圆时定位块均远离晶圆，有效防止晶圆与定位块发生碰撞，在定位晶圆时通过弹性块定位晶圆，避免了晶圆被夹伤。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种晶圆的生产装置，尤其是一种晶圆定位装置。

技术介绍

1、晶圆在生产过程中，由于工序较多，因此在部分切换工位时需要对晶圆进行定位，从而使抓取或吸取晶圆时能够使晶圆位于中心位置。如cn110676204a公开的晶圆定位机构，其包括夹紧气缸及保护夹爪，所述夹紧气缸包括气缸主体及两滑动安装于所述气缸主体的气爪夹头，所述保护夹爪包括两夹持组件，每一所述夹持组件固定于一所述气爪夹头，每一所述夹持组件设有粗定位夹持面及精定位夹持面，所述粗定位夹持面及所述精定位夹持面连接，晶圆夹持于两所述夹持组件的粗定位夹持面进行粗定位后滑落至所述精定位夹持面进行精定位。在使用晶圆定位机构时，夹紧气缸的两气爪夹头相向移动，带动两夹持件夹持晶圆。此时晶圆的侧缘与粗定位夹持面接触，光刻面朝下。晶圆上的外力撤去，晶圆滑落至精定位夹持面，滑落过程中，晶圆只有边缘与夹持件接触，无污染。这种结构在晶圆的放入和取出时容易发生夹伤或碰伤晶圆的情况，实用性不好。

技术实现思路

1、为解决上述容易夹伤或碰伤晶圆的问题，本技术提供一种晶圆定位装置，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆定位装置，包括夹爪气缸(2)，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的一种晶圆定位装置，其特征在于，所述定位块(5)上设有用于调整位置的第一腰形槽(52)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆定位装置，其特征在于，还包括：连接架(8)，固定在所述夹爪(21)上，且与所述第一腰形槽(52)连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆定位装置，其特征在于，所述弹性块(6)与所述晶圆相对的面为圆弧面。

5.根据权利要求1或4所述的一种晶圆定位装置，其特征在于，所述弹性块(6)上设有第二腰形槽(61)，所述第二腰形槽(61)与所述定位块...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆定位装置，包括夹爪气缸(2)，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的一种晶圆定位装置，其特征在于，所述定位块(5)上设有用于调整位置的第一腰形槽(52)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆定位装置，其特征在于，还包括：连接架(8)，固定在所述夹爪(21)上，且与所述第一腰形槽(52)连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆定位装置，其特征在于，所述弹性块(6)与所述晶圆相对的面为圆弧面。

5.根据权利要求1或4所述的一种晶圆定位装置，其特征在于，所述弹性块(6)上设有第二腰形槽(61)，所述第二腰形槽(61)与所述定位块(5)连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆定位装置，其特征在于，所述定位块(5...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭震，王利，莫科伟，
申请(专利权)人：吉姆西半导体科技无锡股份有限公司，
类型：新型
国别省市：